VAb_Katalog_2014_ V1 - 2

UHV Lineardurchführung LD 100Schrittmotorantrieb LD 100 Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 299 E4.5B (Oriental)Schrittmotorantrieb Z mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 361 ACA (Schneider) -- --Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung: 5 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- Getriebe: Übersetzung 1:20 2 verstellbare Endanschläge verstellbare EndlagenschalterHub mm 25 50 75 100 150 200 250 300Gewicht kg 21,7 22,0 22,8 23,5 23,0 24,0 25,0 27,02-Phasen Schrittmotor LD 100-25S2 LD 100-50S2 LD 100-75S2 LD 100-100S2 LD 100-150S2 LD 100-200S2 LD 100-250S2 LD 100-300S2€ / Stck 3.500,- 3.700,- 3.900,- 4.100,- 4.500,- 4.900,- 5.300,- 5.700,-3-Phasen Schrittmotor LD 100-25S3 LD 100-50S3 LD 100-75S3 LD 100-100S3 LD 100-150S3 LD 100-200S3 LD 100-250S3 LD 100-300S3€ / Stck 3.700,- 3.900,- 4.100,- 4.300,- 4.700,- 5.100,- 5.500,- 5.900,-Hub mm 350 400 450 500 550 600 650 700 31,4 32,5 33,8 35,1Gewicht kg 27,7 28,5 29,4 30,3 LD 100-550S2 LD 100-600S2 LD 100-650S2 LD 100-700S2 7.700,- 8.100,- 8.500,- 8.900,-2-Phasen Schrittmotor LD 100-350S2 LD 100-400S2 LD 100-450S2 LD 100-500S2 LD 100-550S3 LD 100-600S3 LD 100-650S3 LD 100-700S3 7.900,- 8.300,- 8.700,- 9.100,-€ / Stck 6.100,- 6.500,- 6.900,- 7.300,-3-Phasen Schrittmotor LD 100-350S3 LD 100-400S3 LD 100-450S3 LD 100-500S3€ / Stck 6.300,- 6.700,- 7.100,- 7.500,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option: Linearpotentiometer¤ Motorantrieb oben: B = +35 mm Aufpreis 600,- € Artikel LD 100-...S2O LD 100-100 S2 252118 LD 100-100 S2O LD 100-100S2 mit DDF 100 PS11-22 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 11-22

UHV Lineardurchführung LD 100 kurzUHV Präzisions - Lineardurchführungen LD 100 K Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 100 CF Sackgewinde --beweglicher Flansch DN 100 CF Sackgewinde --Flanschbohrung auf Spitze auf LückeSpindelsteigung mm 4 mm 5 mm Kugelumlaufspindel Getriebe: Übersetzung 1:20Einstellgenauigkeit reproduzierbar mm manuell Z = 0,01 -- --ID Membranbalg Z-Hub mm 102 -- 2 verstellbare Endanschläge 100Z-Achse 56 - 156 75 407Hub mm 25 50 56 - 131 22,0 LD 100-100 KA mm 56 - 81 56 - 106 382 3.950,- 21,8B mm 332 357 LD 100-75 KGewicht kg 21,4 21,6 3.750,-Artikel LD 100-25 K LD 100-50 K€ / Stck 3.350,- 3.550,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Handantrieb oben: B = +35 mm Aufpreis 600,- € Artikel LD 100-...KO¤ Option: Permeabilität µ < 1,01 Artikel LD 100-...KLM Endanschlag beidseitig M10 für Kranösen LD 100-100 KA DN 100 CF 190 Gewindebohrungen 175 B 160DN 100 CF Gewindebohrungen 178 O 100 R 104 LD 100-100 KO LD 100-100 K mit DDF 100 PL11-23 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 11-23

UHV Lineardurchführung LD 100 kurz Schrittmotorantrieb LD 100 K Standardausführung mögliche Ausführung Schrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 299 E4.5B (Oriental) Schrittmotorantrieb Z mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 361 ACA (Schneider) -- Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung: 5 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- Getriebe: Übersetzung 1:20 -- verstellbare Endanschläge verstellbare Endlagenschalter Hub mm 25 50 75 100 Gewicht kg 26,3 26,9 27,3 27,5 2-Phasen Schrittmotor LD 100-25 KS2 LD 100-50 KS2 LD 100-75 KS2 LD 100-100 KS2 € / Stck 4.100,- 4.300,- 4.500,- 4.700,- 3-Phasen Schrittmotor LD 100-25 KS3 LD 100-50 KS3 LD 100-75 KS3 LD 100-100 KS3 € / Stck 4.300,- 4.500,- 4.700,- 4.900,- ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH ¤ Optionen: Linearpotentiometer ¤ Motorantrieb oben: B = +35 mm Aufpreis 600,- € Artikel LD 100-...KSO LD 100-100 KS 268118 LD 100-100 KSO LD 100-100 KS mit DDF 100 PLS 11-24 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-73095 704121-72255 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 11-24

UHV Lineardurchführung LD 160UHV Präzisions - Lineardurchführungen LD 160 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 160 CF DN 200 CF --beweglicher Flansch DN 160 CF auf SpitzeFlanschbohrungen auf LückeSpindelsteigung Kugelumlaufspindel -- 5 mm Getriebe: Übersetzung 1:20Einstellgenauigkeit reproduzierbar mm manuell Z = 0,01 -- --ID Membranbalg Z-Hub mm 150 -- 250Z-Achse 2 verstellbare Endanschläge 205 - 455 559Hub mm 25 50 75 100 150 200 26,2 300 LD 160-250 205 - 505A mm 155 - 180 155 - 205 155 - 230 155 - 255 155 - 305 155 - 355 6.400,- 609B mm 334 359 384 409 459 509 26,9 LD 160-300Gewicht kg 21,5 21,8 22,1 22,4 23,0 23,6 6.900,-Artikel LD 160-25 LD 160-50 LD 160-75 LD 160-100 LD 160-150 LD 160-200€ / Stck 4.150,- 4.400,- 4.650,- 4.900,- 5.400,- 5.900,-Hub mm 350 400 450 500 550 600 650 700 245 - 795 255 - 855 265 - 915 275 - 975A mm 205 - 555 205 - 605 225 - 675 235 - 735 879 939 999 1.059B mm 659 709 759 819 34,4 35,1 35,8 36,5 LD 160-550 LD 160-600 LD 160-650 LD 160-700Gewicht kg 27,4 28,3 33,0 33,7 9.400,- 9.900,- 10.400,- 10.900,-Artikel LD 160-350 LD 160-400 LD 160-450 LD 160-500€ / Stck 7.400,- 7.900,- 8.400,- 8.900,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Handantrieb oben: B = + 35 mm Aufpreis 600,- € Artikel LD 160-...O¤ Option: Permeabilität µ < 1,01 Artikel LD 160-...LM¤ weitere Hübe auf Anfrage Endanschlag LD 160-100 beidseitig M10 für KranösenA DN 160 CF 175 BDurchgangsbohrungen 160O 150DN 160 CF Durchgangsbohrungen 188 R 118 LD 160-100 O LD 160-100 mit DDF 160P11-25 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 11-25

UHV Lineardurchführung LD 160 Schrittmotorantrieb LD 160 Standardausführung mögliche Ausführung Schrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 299 E4.5B (Oriental) Schrittmotorantrieb Z mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 361 ACA (Schneider) -- -- Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung: 5 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- Getriebe: Übersetzung 1:20 2 verstellbare Endanschläge verstellbare Endlagenschalter Hub mm 25 50 75 100 150 200 250 300 Gewicht kg 26,2 25,7 25,9 26,1 26,8 27,5 29,9 30,7 2-Phasen Schrittmotor LD 160-25S2 LD 160-50S2 LD 160-75S2 LD 160-100S2 LD 160-150S2 LD 160-200S2 LD 160-250S2 LD 160-300S2 € / Stck 4.800,- 5.050,- 5.300,- 5.550,- 6.050,- 6.550,- 7.050,- 7.550,- 3-Phasen Schrittmotor LD 160-25S3 LD 160-50S3 LD 160-75S3 LD 160-100S3 LD 160-150S3 LD 160-200S3 LD 160-250S3 LD 160-300S3 € / Stck 5.000,- 5.250,- 5.500,- 5.750,- 6.250,- 6.750,- 7.250,- 7.750,- Hub mm 350 400 450 500 550 600 650 700 34,2 34,9 35,6 36,3 Gewicht kg 31,4 32,1 32,8 33,5 LD 160-550S2 LD 160-600S2 LD 160-650S2 LD 160-700S2 10.050,- 10.550,- 11.050,- 11.550,- 2-Phasen Schrittmotor LD 160-350S2 LD 160-400S2 LD 160-450S2 LD 160-500S2 LD 160-550S3 LD 160-600S3 LD 160-650S3 LD 160-700S3 10.250,- 10.750,- 11.250,- 11.750,- € / Stck 8.050,- 8.550,- 9.050,- 9.550,- 3-Phasen Schrittmotor LD 160-350S3 LD 160-400S3 LD 160-450S3 LD 160-500S3 € / Stck 8.250,- 8.750,- 9.250,- 9.750,- ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH ¤ Option: Linearpotentiometer ¤ Motorantrieb oben: B = +35 mm Aufpreis 600,- € Artikel LD 160-...SO ¤ weitere Hübe auf Anfrage LD 160-100 278118 LD 160-100 KO LD 160-100S mit DDF 160 PS 11-26 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 11-26

UHV Lineardurchführung LD 160 kurzUHV Präzisions - Lineardurchführungen LD 160 K Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 160 CF Sackgewinde --beweglicher Flansch DN 160 CF Sackgewinde --Flanschbohrung auf Spitze auf LückeSpindelsteigung Kugelumlaufspindel 5 mm --Einstellgenauigkeit reproduzierbar mm Getriebe: Übersetzung 1:20 -- manuell Z = 0,01 --Membranbalg ID mm 150 --Z-Achse 2 verstellbare Endanschläge 100 75 56 - 156Hub mm 25 50 56 - 131 409A mm 56 - 81 56 - 106 384 22,4 22,1 LD 160-100KB mm 334 359 5.500,- LD 160-75KGewicht kg 21,5 21,8 5.250,-Artikel LD 160-25K LD 160-50K€ / Stck 4.750,- 5.000,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar,¤ Ausheiztemperatur max. 230°C,¤ Handantrieb oben: B = + 35 mm Aufpreis 600,- € Artikel: LD 160-...KO,¤ Option: Permeabilität µ < 1,01 Aufpreis 450,-€ Artikel: LD 160-...LM Beidseitig M10 für Kranösen A LD 160-50 K R 115 DN 160 CF BGewindebohrungen 175 DN 160 CF Gewindebohrungen 160202 O 150 LD 160-100 KO LD 160-50 K mit DDF 160 PL11-27 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 11-27

UHV Lineardurchführung LD 160 kurzSchrittmotorantrieb LD 160 K Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 299 E4.5B (Oriental)Schrittmotorantrieb Z mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 361 ACA (Schneider) --Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung: 5 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --Hub mm 25 Getriebe: Übersetzung 1:20 75 --Gewicht kg 25,6 verstellbare Endanschläge 26,2 verstellbare Endlagenschalter 50 100 25,9 26,52-Phasen Schrittmotor LD 160-25 KS2 LD 160-50 KS2 LD 160-75 KS2 LD 160-100 KS2€ / Stck 5.400,- 5.650,- 5.900,- 6.150,-3-Phasen Schrittmotor LD 160-25 KS3 LD 160-50 KS3 LD 160-75 KS3 LD 160-100 KS3 6.100,- 6.350,-€ / Stck 5.600,- 5.850,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Optionen: Linearpotentiometer¤ Motorantrieb oben: B = +35 mm Aufpreis 600,- € Artikel LD 160-...KSO LD 160-100 KS 293118 LD 160-100 KSO LD 160-100 KS mit DDF 160 PL11-28 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 11-28

UHV XY - TiltUHV Präzisions XY - TiltBasisflansch DN 40 CF DN 63CF DN 100 CF DN 160 CF DN 100 CF DN 160 CFbeweglicher Flansch DN 40 CF DN 63CF ± 5° ± 5°Kippwinkel XY ± 5° ± 5° < 0,1° < 0,1° 126 156Einstellgenauigkeit mm < 0,1° < 0,1° 102 152A mm 64 94 85 112 64 66ID mm 39 70 T-XY 100 T-XY 150 2.800,- aAR mm 40 62L mm 39 57Artikel T-XY 40 T-XY 63€ / Stck 1.600,- 2.200,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Flanschbohrungen auf Lücke¤ Ausheiztemperatur max. 230°C T-XY 40 R ID T-XY 63 A L T-XY 100 T-XY 63 X- und Y-Achse jeweils um 5° gekippt1-1 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 1-1

UHV Manipulator KPMUHV Präzisions - Manipulator KPM 12 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 40 CF --beweglicher Flansch DN 40 CF Sackgewinde DN 40 CF Durchgangsbohrungen (A + 21)Flanschbohrungen auf Lücke auf SpitzeHub XY mm ± 12,5 Kreisvektor --Hub Z mm 50 - 600 weitere Hübe auf AnfrageEinstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y,Z mm manuell Z = 0,01 X,Y = 0,01 --Spindelsteigung der Z - Achse mm 3 --Membranbalg ID mm 39 --Z-Achse 2 verstellbare Endanschläge --Hub Z mm 50 100 150 200 250 300 350 400 500 600A mm 156 - 206 171 - 271 186 - 336 201 - 401 216 - 466 231 - 531 238 - 588 248 - 648 268 - 768 293 - 893B mm 221 286 351 416 481 546 641 701 821 946C mm 215 280 345 410 475 540 635 695 815 940Gewicht kg 6,2 6,6 7,0 7,4 8,8 9,2 9,8 10,1 11,0 11,8Artikel KPM 12-50 KPM12-100 KPM12-150 KPM12-200 KPM12-250 KPM12-300 KPM12-350 KPM12-400 KPM12-500 KPM12-600€ / Stck 3.200,- 3.470,- 3.740,- 4.010,- 4.280,- 4.550,- 4.820,- 5.090,- 5.630,- 6.170,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Handantrieb der Z-Achse über Seitenrad Aufpreis 230,- € Artikel: KPM 12-......G¤ Topflansch mit Durchgangsbohrungen: Länge A +30mm Aufpreis 40,- € Artikel: KPM 12-......D DN 40 CF Gewindebohrungen 49 KPM 12-100 A 134 103 B 110 ab Hub 250 O 38 DN 40 CF Durchgangsbohrungen 147 KPM 12-50 D Topflansch mit Durchgangsbohrungen KPM 12-100 G mit DDF 40PK2-1 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-1

UHV Manipulator KPMSchrittmotorantrieb KPM 12S Standardausführung mögliche AusführungZ - Achse 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H130 ABB 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H131 ACAZ - Achse mit Encoder (Option) 2 Phasen Motor PKP 243 MD 15B (Oriental) --X,Y - Achse Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm verstellbare Endlagenschalter 2 verstellbare Endanschläge für die Z-AchseZ - Achse Spindelsteigung: 3 mmSchrittmotorantrieb Z-AchseHub Z mm 50 100 150 200 250Gewicht kg 6,3 7,0 7,5 8,1 8,6 KPM 12-100SZ2 KPM 12-150SZ2 KPM 12-200SZ2 KPM 12-250SZ22-Phasen Schrittmotor KPM 12-50SZ2 3.920,- 4.190,- 4.460,- 4.730,-€ / Stck 3.650,- 500 600Hub Z mm 300 350 400 11,4 12,5Gewicht kg 9,2 9,7 10,3 KPM 12-500SZ2 KPM 12-600SZ22-Phasen Schrittmotor KPM 12-300SZ2 KPM 12-350SZ2 KPM 12-400SZ2 6.080,- 6.620,-€ / Stck 5.000,- 5.270,- 5.540,-Schrittmotorantrieb X,Y,Z-Achsen 100 150 10,0 10,5Hub Z mm 50 KPM 12-100S2 KPM 12-150S2 200 250Gewicht kg 9,4 4.620,- 4,890,- 11,1 11,6 KPM 12-200S2 KPM 12-250S22-Phasen Schrittmotor KPM 12-50S2 5.160,- 5.430,-€ / Stck 4.350,- 500 600Hub Z mm 300 350 400 14,4 15,5 13,3 KPM 12-500S2 KPM 12-600S2Gewicht kg 12,2 12,7 KPM 12-400S2 6.780,- 7.320,- 6.240,-2-Phasen Schrittmotor KPM 12-300S2 KPM 12-350S2€ / Stck 5.700,- 5.970,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ weitere Hübe auf Anfrage¤ C-Maß = B - 6 mm (siehe Handbetrieb) KPM 12-50S C 60 162 177 1622-2 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-2

UHV Manipulator KPM2-3 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-738880 704121-7388817 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-3

UHV Manipulator PMK 12UHV Präzisions - Manipulator PMK 12 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 63 CF DN 100 CF , mit 6 x DN 16 CF DN 63 CF Sackgewindebeweglicher Flansch DN 40 CF Sackgewinde auf Spitze --Flanschbohrungen auf Lücke weitere Hübe auf Anfrage --Hub X,Y mm ± 12,5 KreisvektorHub Z mm 50 - 600Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y,Z mm manuell Z = 0,01 X,Y = 0,01 --Spindelsteigung der Z - Achse 4mm Getriebeübersetzung 1:2Membranbalg ID mm 65 -- --Z-Achse 2 verstellbare Endanschläge 500 324 - 824Hub Z mm 50 100 150 200 250 300 400 893 600 294 - 694 877 354 - 954A mm 224- 274 224 - 324 234 - 384 244 - 444 254 - 504 264 - 564 19,8 763 PMK 12-500 1.023B mm 343 393 453 513 573 633 747 7.100,- 1.007 18,4 21,2C mm 327 377 437 497 557 617 PMK 12-400 PMK 12-600 6.400,- 7.800,-Gewicht kg 13,5 14,2 14,9 15,6 16,3 17,0Artikel PMK 12-50 PMK 12-100 PMK 12-150 PMK 12-200 PMK 12-250 PMK 12-300€ / Stck 3.950,- 4.300,- 4.650,- 5.000,- 5.350,- 5.700,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C DN 63 CF Gewindebohrungen¤ mit Halbkugel und 6 x DN16CF: PMK-...K Aufpreis 500,-€ Länge A +2,5mm Gewicht + 0,4kg beidseitig M10 für Kranösen A B DN 63 CF Durchgangsbohrungen 183 183 O 40 120 PMK 12-50 + PD 40-50PMK-T PMK 12-50K2-4 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-4

UHV Manipulator PMK 12Schrittmotorantrieb PMK 12 Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --Z - Achse Spindelsteigung: 4 mm Getriebeübersetzung: 1:4 2 verstellbare Endanschläge für die Z-Achse verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb Z - AchseZ-Hub mm 50 100 150 200 250 16,2 16,9 17,6 18,3Gewicht kg 15,5 PMK 12-100SZ2 PMK 12-150SZ2 PMK 12-200SZ2 PMK 12-250SZ2 4.750,- 5.100,- 5.450,- 5.800,-2-Phasen Motor PMK 12-50SZ2 PMK 12-100SZ3 PMK 12-150SZ3 PMK 12-200SZ3 PMK 12-250SZ3 4.950,- 5.300,- 5.650,- 6.000,-€ / Stck 4.400,- 500 6003-Phasen Motor PMK 12-50SZ3 21,8 23,2 PMK 12-500SZ2 PMK 12-600SZ2€ / Stck 4.600,- 7.550,- 8.250,- PMK 12-500SZ3 PMK 12-600SZ3Z-Hub mm 300 350 400 7.750,- 8.450,- 20,4Gewicht kg 19,0 19,7 PMK 12-400SZ2 6.850,-2-Phasen Motor PMK 12-300SZ2 PMK 12-350SZ2 PMK 12-400SZ3 7.050,-€ / Stck 6.150,- 6.500,- 1503-Phasen Motor PMK 12-300SZ3 PMK 12-350SZ3 20,9 PMK 12-150S2€ / Stck 6.350,- 6.700,- 6.000,- PMK 12-150S3Schrittmotorantrieb X,Y,Z - Achsen 6.600,-Z-Hub mm 50 100 200 250 21,6 22,3Gewicht kg 19,5 20,2 PMK 12-200S2 PMK 12-250S2 6.350,- 6.700,-2-Phasen Motor PMK 12-50S2 PMK 12-100S2 PMK 12-200S3 PMK 12-250S3 6.950,- 7.300,-€ / Stck 5.300- 5.650,- 500 6003-Phasen Motor PMK 12-50S3 PMK 12-100S3 25,8 27,2 PMK 12-500S2 PMK 12-600S2€ / Stck 5.900,- 6.250,- 8.450,- 9.150,- PMK 12-500S3 PMK 12-600S3Z-Hub mm 300 350 400 9.050,- 9.750,-Gewicht kg 23 23,7 24,42-Phasen Motor PMK 12-300S2 PMK 12-350S2 PMK 12-400S2€ / Stck 7.050,- 7.400,- 7.750,-3-Phasen Motor PMK 12-300S3 PMK 12-350S3 PMK 12-400S3€ / Stck 7.650,- 8.000,- 8.350,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ weitere Hübe auf Anfrage¤ C-Maß = B - 16mm (siehe Handantrieb)PMK 12-50SC O 40 193 202 193 2 Phasen Motor 232 3 Phasen Motor2-5 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-5

UHV Manipulator PMK 12 4-Achsen Schrittmotorsteuerung: Bedieneroberfläche für PMK 12-50S mit DDF 40PLS2-6 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-6

Zubehör PMKUHV Präzisions - Drehdurchführung mit verlängertem Kugellagergehäusebeschichtete Lager im Vakuum Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 40 CF DN 63 CFRotation °Grad 0 - 360° --Einstellgenauigkeit °Grad 0,1° --übertragbares Drehmoment Nm 3 --max. Drehzahl U / min 400 --Länge L mm bei maximalem Hub des Manipulators PMK ragt die Welle 150 mm aus dem Basisflansch herausGewicht kg 2Artikel (PD 40 - Hub Z) PD 40-50PMK PD 40-100PMK PD 40-150PMK PD 40-200PMK PD 40-250PMK PD 40-300PMK PD 40-400PMK€ / Stck 1.500,- 1.550,- 1.600,- 1.650,- 1.700,- 1.800,- 1.900,-Gewicht kg 2Artikel (PD 40 - Hub Z) PD 40-50PMK-T PD 40-100PMK-T PD 40-150PMK-T PD 40-200PMK-T PD 40-250PMK-T PD 40-300PMK-T PD 40-400PMK-T€ / Stck 2.300,- 2.350,- 2.400,- 2.450,- 2.500,- 2.650,- 2.700,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Schrittmotorantrieb Aufpreis 650,- € , Artikel: PD ........S¤ Endlagenschalter mit Montagebock 60,- € / Stück Artikel: ESB M-PD¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 100,- € / Stück Artikel: ESB MH-PD¤ andere Längen und Wellendurchmesser auf Anfrage 102 L 424 50 O 75 O 33 O 21,3 O 10 h7 45 PD 40-50 PMK 76 L 424 102 50 DN 40 CF O 75 DN 25 CF O 21,3 O 10 h7 DN 16 CF PD 40-50 PMK-T 57 42 188 PD 40-50 PMK-TS2-7 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de

Zubehör PMKUHV Präzisions - Drehdurchführung mit Zweitrotation und verlängertem Kugellagergehäusebeschichtete Lager im Vakuum Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 40 CF DN 63 CFRotation °Grad 0 - 360° --Einstellgenauigkeit °Grad 0,1° --axialer Hub für die 2.Rotation mm 13 15übertragbares Drehmoment Nm 3 --max. Drehzahl U / min 400 --Länge L mm bei maximalem Hub des Manipulators PMK ragt die Welle 150 mm aus dem Basisflansch herausGewicht kg 2Artikel (PD 40 - Hub Z) PD2 40-50PMK PD2 40-100PMK PD2 40-150PMK PD2 40-200PMK PD2 40-250PMK PD2 40-300PMK PD2 40-400PMK€ / Stck 2.100,- 2.150,- 2.200,- 2.250,- 2.300,- 2.400,- 2.500,-Gewicht kg 2Artikel (PD 40 - Hub Z) PD2 40-50PMK-T PD2 40-100PMK-T PD2 40-150PMK-T PD2 40-200PMK-T PD2 40-250PMK-T PD2 40-300PMK-T PD2 40-400PMK-T€ / Stck 2.900,- 2.950,- 3.000,- 3.050,- 3.100,- 3.200,- 4.300,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Schrittmotorantrieb Aufpreis 650,- € , Artikel: PD2 ........S¤ Endlagenschalter mit Montagebock 60,- € / Stück Artikel: ESB M-PD¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 100,- € / Stück Artikel: ESB MH-PD¤ andere Längen und Wellendurchmesser auf Anfrage 197 L 424 O 75 50 O 33 12 - 25 O 21,3 O 10 h7 O4 45 102 PD2 40-50 PMK 76 L 424 197 DN 40 CF O 75 50 O 21,3 O 10 h7 O4 DN 25 CF DN 16 CF PD2 40-50 PMK-T2-8 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-8

UHV Manipulator PMM 12UHV Präzisions - Manipulator PMM 12 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 63 CF DN 100 CF , DN 160 CF Gewinde DN 63 CF , DN 40 CFbeweglicher Flansch DN 63 CF Sackgewinde auf Spitze --Flanschbohrungen auf Lücke weitere Hübe auf AnfrageHub X,Y mm ± 12,5 Kreisvektor --Hub Z mm 50 - 600Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y,Z mm manuell X,Y = 0,01 Z = 0,01 --Spindelsteigung der Z-Achse 4 mm Getriebeübersetzung 1:2Membranbalg ID mm 70,5 -- --Z-Achse 2 verstellbare Endanschläge 500 316 - 816Hub Z mm 50 100 150 200 250 300 400 896 600 286 - 686 880 346 - 946A mm 216 - 266 216 - 316 226 - 376 236 - 436 246 - 496 256 - 556 23,2 766 PMM 12-500 1.026B mm 346 396 456 516 576 636 750 8.100,- 1.010 21,9 24,5C mm 330 380 440 500 560 620 PMM 12-400 PMM 12-600 7.400,- 8.800,-Gewicht kg 17,4 18,0 18,7 19,3 20,0 20,6Artikel PMM 12-50 PMM 12-100 PMM 12-150 PMM 12-200 PMM 12-250 PMM 12-300€ / Stck 4.950,- 5.300,- 5.650,- 6.000,- 6.350,- 6.700,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Topflansch mit Durchgangsbohrungen: Länge A + 40 mm Aufpreis 70,-€ Artikel:PMM 12-.....D¤ weitere Hübe auf Anfrage M10 beidseitig für Kranösen DN 63 CF Gewindebohrungen O 66 PMM 12-50 A B O 70 DN 63 CF Durchgangsbohrungen 217 159 O 66 2022-9 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-9

UHV Manipulator PMM 12Schrittmotorantrieb PMM 12S Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28 B (Oriental) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- --Z - Achse Spindelsteigung: 4 mm -- verstellbare Endlagenschalter 2 verstellbare Endanschläge für die Z-AchseZ - Achse Getriebeübersetzung: 1:4Schrittmotorantrieb Z-AchseHub 50 100 150 200 250Gewicht kg 19,4 20,0 20,7 21,3 22,0 PMM 12-100SZ2 PMM 12-150SZ2 PMM 12-200SZ2 PMM 12-250SZ22-Phasen Schrittmotor PMM 12-50SZ2 5.750,- 6.100,- 6.450,- 6.800,-€ / Stck 5.400,- PMM 12-100SZ3 PMM 12-150SZ3 PMM 12-200SZ3 PMM 12-250SZ32-Phasen Schrittmotor 5.950,- 6.300,- 6.650,- 7.000,-€ / Stck PMM 12-50SZ3 5.600,- 500 600 25,2 26,5Hub mm 300 350 400 PMM 12-500SZ2 PMM 12-600SZ2 23,3 23,9 8.550,- 9.250,-Gewicht kg 22,6 PMM 12-350SZ2 PMM 12-400SZ2 PMM 12-500SZ3 PMM 12-600SZ3 7.500,- 7.850,- 8.750,- 9.450,-2-Phasen Schrittmotor PMM 12-300SZ2 PMM 12-350SZ3 PMM 12-400SZ3 7.700,- 8.050,-€ / Stck 7.150,- 100 1503-Phasen Schrittmotor PMM 12-300SZ3 24,0 24,7 PMM 12-100S2 PMM 12-150S2€ / Stck 7.350,- 6.650,- 7.000,- PMM 12-100S3 PMM 12-150S3Schrittmotorantrieb X,Y,Z-Achse 7.250,- 7.600,-Hub 50 200 250Gewicht kg 23,4 25,3 26,02-Phasen Schrittmotor PMM 12-50S2 PMM 12-200S2 PMM 12-250S2€ / Stck 6.300,- 7.350,- 7.700,-2-Phasen Schrittmotor PMM 12-50S3 PMM 12-200S3 PMM 12-250S3€ / Stck 6.900 7.950,- 8.300,-Hub mm 300 350 400 500 600 27,9 29,2 30,5Gewicht kg 26,6 27,3 PMM 12-400S2 PMM 12-500S2 PMM 12-600S2 8.750,- 9.450,- 10.150,-2-Phasen Schrittmotor PMM 12-300S2 PMM 12-350S2 PMM 12-400S3 PMM 12-500S3 PMM 12-600S3 9.350,- 10.050,- 10.750,-€ / Stck 8.050,- 8.400,-3-Phasen Schrittmotor PMM 12-300S3 PMM 12-350S3€ / Stck 8.650,- 9.000,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ weitere Hübe auf Anfrage¤ C-Maß = B - 16mm (siehe Handbetrieb) PMM 12-50S 232 C 226 2242-10 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-10

UHV Manipulator PMM 12 4-Achsen Schrittmotorsteuerung Bedieneroberfläche für PMM 12-50S mit DDF 63plS2-11 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-73095 704121-72255 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-11

UHV Manipulator PM 112UHV Präzisions - Manipulator PM 112 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 100 CF DN 160 CFbeweglicher Flansch DN 100 CF Sackgewinde DN 63 CF SackgewindeFlanschbohrungen auf Lücke auf SpitzeHub X,Y mm ± 12,5 Kreisvektor --Hub Z mm 50 - 500 bis 1.000 auf AnfrageEinstellgenauigkeit reproduzierbar mm manuell XY = 0,01 Z = 0,01 --Spindelsteigung der Z - Achse mm 4 Getriebe: Übersetzung 1:20 5 KugelumlaufspindelMembranbalg ID mm 102 --zusätzliche montierbares Gewicht kg max 50 --Z-Hub mm 25 50 75 100 150 200A mm 270 - 295 270 - 320 270 - 345 270 - 370 270 - 420 270 - 470B mm 332 357 382 407 457 507Gewicht kg 25,3 25,5 25,8 26,0 27,0 28,0Artikel PM 112-25 PM 112-50 PM 112-75 PM 112-100 PM 112-150 PM 112-200€ / Stck 6.700,- 6.900,- 7.100,- 7.300,- 7.700,- 8.100,-Z-Hub mm 250 300 350 400 450 500 358 - 808 368 - 868A mm 270 - 520 358 - 658 358 - 708 358 - 758 757 817B mm 557 607 657 707 32,5 33,5 PM 112-450 PM 112-500Gewicht kg 28,8 30,3 31,0 31,8 10.100,- 10.500,-Artikel PM 112-250 PM 112-300 PM 112-350 PM 112-400€ / Stck 8.500,- 8.900,- 9.300,- 9.700,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Topflansch mit Durchgangsbohrungen: Länge A + 40 mm Aufpreis 90,-€ Artikel:PM 112-.....D¤ Handantrieb oben (Z-Achse): siehe LD 100 Aufpreis 600,- € B = + 35 mm beidseitig M10 für Kranösen DN 100 CF Sackgewinde A B PM 112-100 O102 160 DN 100 CF Durchgangsbohrungen 190 214 O 100 214 PM 112-100 mit DDF 100pL2-12 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-12

UHV Manipulator PM 112Schrittmotorantrieb PM 112S Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb X,Y 3 Phasen Motor: BRS3 68 H130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb X,Y mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)Schrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 299-E4.5B (Oriental)Schrittmotorantrieb Z mit Encoder(Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH361 ACA (Schneider) -- Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung 5mm Getriebeübersetzung: 1:20 2 verstellbarere Endanschläge für die Z-Achse verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb Z-AchseZ-Hub mm 25 50 75 100 150 200Gewicht kg 30,3 30,5 30,8 31,0 32,0 33,02-Phasen Schrittmotor PM 112-25SZ2 PM 112-50SZ2 PM 112-75SZ2 PM 112-100SZ2 PM 112-150SZ2 PM 112-200SZ2€ / Stck 7.450,- 7.650,- 7.850,- 8.050,- 8.450,- 8.850,-3-Phasen Schrittmotor€ / Stck PM 112-25SZ3 PM 112-50SZ3 PM 112-75SZ3 PM 112-100SZ3 PM 112-150SZ3 PM 112-200SZ3 7.650,- 7.850,- 8.050,- 8.250,- 8.650,- 9.050,-Z-Hub mm 250 300 350 400 450 500Gewicht kg 34,0 35,0 36,0 36,5 37,0 37,5 PM 112-300SZ2 PM 112-350SZ2 PM 112-400SZ2 PM 112-450SZ2 PM 112-500SZ22-Phasen Schrittmotor PM 112-250SZ2 9.650,- 10.050,- 10.450,- 10.850,- 11.250,-€ / Stck 9.250,- PM 112-300SZ3 PM 112-350SZ3 PM 112-400SZ3 PM 112-450SZ3 PM 112-500SZ3 9.850,- 10.250,- 10.650,- 11.050,- 11.450,-3-Phasen Schrittmotor PM 112-250SZ3 50 75 100 150 200€ / Stck 9.450,- 35,5 35,8 36,0 37,0 38,0 PM 112-50S2 PM 112-75S2 PM 112-100S2 PM 112-150S2 PM 112-200S2Schrittmotorantrieb X,Y,Z - Achse 8.550,- 8.750,- 8.950,- 9.350,- 9.750,- PM 112-50S3 PM 112-75S3 PM 112-100S3 PM 112-150S3 PM 112-200S3Z-Hub mm 25 9.150,- 9.350,- 9.550,- 9.950,- 10.350,-Gewicht kg 35,32-Phasen Schrittmotor PM 112-25S2€ / Stck 8.350,-3-Phasen Schrittmotor€ / Stck PM 112-25S3 8.950,-Z-Hub mm 250 300 350 400 450 500 41,5 42,0 43,5Gewicht kg 39,0 40,0 41,0 PM 112-400S2 PM 112-450S2 PM 112-500S2 11.350,- 11.750,- 12.150,-2-Phasen Schrittmotor PM 112-250S2 PM 112-300S2 PM 112-350S2 PM 112-400S3 PM 112-450S3 PM 112-500S3 11.950,- 12.350,- 12.750,-€ / Stck 10.150,- 10.550,- 10.950,-3-Phasen Schrittmotor PM 112-250S3 PM 112-300S3 PM 112-350S3€ / Stck 10.750,- 11.150,- 11.550,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option: Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ Motorantrieb oben ( Z-Achse) : siehe LD 100 Aufpreis 600,- € B = +35 mm¤ weitere Hübe auf Anfrage 223 278 Oi 100 223 118 PM 112 - 100S32-13 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-13

UHV Manipulator PM 112 4-Achsen Schrittmotorsteuerung: Bedieneroberfläche für PM 112-100S mit DDF 100plS2-14 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-14

UHV Manipulator PM 125UHV Präzisions - Manipulator PM 125 Standardausführung mögliche Ausführung DN 100 CF DN 160 CFBasisflanschbeweglicher Flansch DN 100 CF Sackgewinde DN 63 CF SackgewindeFlanschbohrungen auf SpitzeHub X,Y mm auf Lücke --Hub Z mmEinstellgenauigkeit reproduzierbar mm ± 25 Kreisvektor bis 1.000 auf Anfrage -- 50 - 500Spindelsteigung der Z - Achse manuell XY = 0,01 Z = 0,01 5 KugelumlaufspindelMembranbalg ID mm 4 mm -- Getriebeübersetzung 1:20 -- 102 200 288 - 488zusätzliche montierbares Gewicht kg max 50 507Z-Hub mm 25 50 75 100 150 34 288 - 338 288 - 438 PM 125-200A mm 288 - 313 288 - 363 288 - 388 8.350,- 357 457B mm 332 31 382 407 33 PM 125-50 PM 125-150Gewicht kg 30,5 7.150,- 31,5 32 7.950,-Artikel PM 125-25 PM 125-75 PM 125-100 7.350,- 7.550,-€ / Stck 6.950Z-Hub mm 250 300 350 400 450 500 358 - 808 368 - 868A mm 288 - 538 358 - 658 358 - 708 358 - 758 757 817B mm 557 607 657 707 37 38 PM 125-450 PM 125-500Gewicht kg 34,5 35 36 36,5 10.350,- 10.750,-Artikel PM 125-250 PM 125-300 PM 125-350 PM 125-400€ / Stck 8.750,- 9.150,- 9.550,- 9.950,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Topflansch mit Durchgangsbohrungen: Länge A + 40 mm Aufpreis 90,-€ Artikel:PM 125-.....D¤ Handantrieb oben ( Z-Achse): siehe LD 100 Aufpreis 600,- € B = + 35 mm beidseitig M10 für Kranösen DN 100 CF Gewindebohrungen Oi 100 A B PM 125-100 Oi 102 DN 100 CF Durchgangsbohrungen 272 215 272 175 160 215 PM 125-100 mit DDF 100pL2-15 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-15

UHV Manipulator PM 125Schrittmotorantrieb PM 125S Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb X,Y 3 Phasen Motor: BRS3 68 H130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb X,Y mit Encoder(Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)Schrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 299-E4.5B (Oriental)Schrittmotorantrieb Z mit Encoder(Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH361 ACA (Schneider) -- Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung: 5mm Getriebeübersetzung: 1:20 2 verstellbarere Endanschläge für die Z-Achse verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb für die Z-AchseZ-Hub mm 25 50 75 100 150 200Gewicht kg 35,5 36 36,5 37 38 392-Phasen Schrittmotor PM 125-25SZ2 PM 125-50SZ2 PM 125-75SZ2 PM 125-100SZ2 PM 1-25150SZ2 PM 1-25200SZ2€ / Stck 7.700,- 7.900,- 8.100,- 8.300,- 8.700,- 9.100,-3-Phasen Schrittmotor PM 125-25SZ3 PM 125-50SZ3 PM 125-75SZ3 PM 125-100SZ3 PM 125-150SZ3 PM 125-200SZ3€ / Stck 7.900,- 8.100,- 8.300,- 8.500,- 8.900,- 9.300,-Z-Hub mm 250 300 350 400 450 500Gewicht kg 41,5 42 43 39,5 40 41 PM 125-400SZ2 PM 125-450SZ2 PM 125-500SZ2 10.700,- 11.100,- 11.500,-2-Phasen Schrittmotor PM 125-250SZ2 PM 125-300SZ2 PM 125-350SZ2 PM 125-400SZ3 PM 125-450SZ3 PM 125-500SZ3 10.900,- 11.300,- 11.700,-€ / Stck 9.500,- 9.900,- 10.300,- 100 150 2003-Phasen Schrittmotor PM 125-250SZ3 PM 125-300SZ3 PM 125-350SZ3 43 44 45 PM 125-100S2 PM 125-150S2 PM 125-200S2€ / Stck 9.700,- 10.100,- 10.500,- 9.200,- 9.600,- 10.000,- PM 125-100S3 PM 125-150S3 PM 125-200S3Schrittmotorantrieb für Schrittmotorantrieb X,Y,Z - Achse 9.800,- 10.200,- 10.600,-Z-Hub mm 25 50 75Gewicht kg 41,5 42 42,52-Phasen Schrittmotor PM 125-25S2 PM 125-50S2 PM 125-75S2€ / Stck 8.600,- 8.800,- 9.000,-3-Phasen Schrittmotor PM 125-25S3 PM 125-50S3 PM 125-75S3€ / Stck 9.200,- 9.400,- 9.600,-Z-Hub mm 250 300 350 400 450 500 47,5 48 49Gewicht kg 45,5 46 47 PM 125-400S2 PM 125-450S2 PM 125-500S2 11.600,- 12.000,- 12.400,-2-Phasen Schrittmotor PM 125-250S2 PM 125-300S2 PM 125-350S2 PM 125-400S3 PM 125-450S3 PM 125-500S3 12.200,- 12.600,- 13.000,-€ / Stck 10.400,- 10.800,- 11.200,-3-Phasen Schrittmotor PM 125-250S3 PM 125-300S3 PM 125-350S3€ / Stck 11.000,- 11.400,- 11.800,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ Motorantrieb oben (Z-Achse): siehe LD 100 Aufpreis 600,- € B = +35 mm¤ weitere Hübe auf Anfrage 250 305 250 118 PM 125 - 100S2-16 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-16

UHV Manipulator PM 125 4-Achsen Schrittmotorsteuerung: Bedieneroberfläche für PM 125-100S mit DDF 100PLS2-17 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-73095 704121-72255 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-17

UHV Manipulator PM 12UHV Präzisions - Manipulator PM 12 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 100 CF Sackgewinde DN 160 CF, DN 200 CFbeweglicher Flansch DN 63 CF Durchgangsbohrungen DN 40 CF SackgewindeFlanschbohrungHub XY mm auf Lücke auf SpitzeHub Z mm ± 12,5 Kreisvektor --Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y,Z mm 50 - 1.000 weitere Hübe auf AnfrageSpindelsteigung der Z - Achse manuell Z = 0,01 X,Y = 0,01 Schrittmotorantrieb Z = 0,001 X,Y = 0,001ID Membranbalg Z-Hub mm 4 mm --Ø Stützlager im X,Y-Tisch für Führungsrohr Z mm Getriebeübersetzung 1:2 46 39 40 / 42 / 44 38Z-Hub mm 50 100 150 200 250 300A mm 278 - 328 278 - 378 278 - 428 278 - 478 278 - 528 318 - 618B mmGewicht kg 485 535 585 635 685 735Artikel 20,8 21,6 22,4 23,2 23,6 25,2€ / Stck PM 12-50 PM 12-100 PM12-150 PM 12-200 PM 12-250 PM 12-300 7.350,- 7.650,- 7.950,- 8.250,- 8.550,- 8.850,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600A mm 318 - 668 318 - 718 328 - 778 338 - 838 348 - 898 348 - 948B mmGewicht kg 785 835 895 955 1.015 1.065Artikel 26,0 26,8 27,6 28,4 29,2 30,0€ / Stck PM 12-350 PM 12-400 PM 12-450 PM 12-500 PM 12-550 PM 12-600 9.150,- 9.450,- 9.850,- 10.250,- 10.650,- 11.050,-Z-Hub mm 650 700 750 800 900 1.000 388 - 1.138 383 - 1.183 403 - 1.303 423 - 1.423A mm 358 - 1.008 378 - 1078 1.255 1.300 1.420 1.540B mm 1.125 1.195 32,4 35,2 36,8 38,4 PM 12-750 PM 12-800 PM 12-900 PM 12-1000Gewicht kg 30,8 31,6 12.250,- 12.850,- 14.050,- 15.250,-Artikel PM 12-650 PM 12-700 140€ / Stck 11.450,- 11.850,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C 204 Oi 39 beidseitig M10 für Kranösen PM 12-100 204 201 R 78 ADN 63 CF BDurchgangsbohrungen beidseitig M10 für Kranösen2-18 DN 100 CF Sackgewindebohrungen 2-18 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-78883-0 704121-78883-17 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de

UHV Manipulator PM 12Schrittmotorantrieb PM 12S Standardausführung mögliche AusführungX,Y,Z - Achse mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)X,Y,Z - Achse 3 Phasen Motor: BRS3 68 H131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --Z - Achse Spindelsteigung: 4 mm -- -- verstellbare Endlagenschalter X,Y,Z-Achse Getriebeübersetzung: 1:2 2 verstellbare Endanschläge für die Z-AchseSchrittmotorantrieb für die X,Y,Z-AchseZ-Hub mm 50 100 150 200 250 300Gewicht kg 22,8 23,6 24,4 25,2 25,6 27,2 PM 12-100SZ2 PM 12-150SZ2 PM 12-200SZ2 PM 12-250SZ2 PM 12-300SZ22-Phasen Schrittmotor PM 12-50SZ2 8.100,- 8.400,- 8.700,- 9.000,- 9.300,-€ / Stck 8.800,- PM 12-100SZ3 PM 12-150SZ3 PM 12-200SZ3 PM 12-250SZ3 PM 12-300SZ33-Phasen Schrittmotor 8.300,- 8.600,- 8.900,- 9.200,- 9.500,-€ / Stck PM 12-50SZ3 8.000,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600Gewicht kg 28,5 28,8 29,6 30,4 31,2 32,02-Phasen Schrittmotor PM 12-350SZ2 PM 12-400SZ2 PM 12-450SZ2 PM 12-500SZ2 PM 12-550SZ2 PM 12-600SZ2€ / Stck 9.600,- 9.900,- 10.300,- 10.700,- 11.100,- 11.500,-3-Phasen Schrittmotor PM 12-350SZ3 PM 12-400SZ3 PM 12-450SZ3 PM 12-500SZ3 PM 12-550SZ3 PM 12-600SZ3€ / Stck 9.800,- 10.100,- 10.500,- 10.900,- 11.300,- 11.700,-Z-Hub mm 650 700 750 800 900 1000 37,2 38,8 40,4Gewicht kg 32,7 33,6 35,6 PM 12-800SZ2 PM 12-900SZ2 PM 12-1000SZ2 13.300,- 14.500,- 15.700,-2-Phasen Schrittmotor PM 12-650SZ2 PM 12-700SZ2 PM 12-750SZ2 PM 12-800SZ3 PM 12-900SZ3 PM 12-1000SZ3 13.500,- 14.700,- 15.900,-€ / Stck 11.900,- 12.300,- 12.700,-3-Phasen Schrittmotor PM 12-650SZ3 PM 12-700SZ3 PM 12-750SZ3€ / Stck 12.100,- 12.500,- 12.900,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ weitere Hübe auf Anfrage 213 C 213 197PM 12-100S2 mit Schrittmotorantrieb und Endlagenschalter2-19 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-78883-0 704121-78883-17 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-19

UHV Manipulator PM 12Schrittmotorantrieb für die X,Y,Z-AchseZ-Hub mm 50 100 150 200 250 300Gewicht kg 26,8 27,6 28,4 29,2 29,6 31,2 PM 12-100S2 PM 12-150S2 PM 12-200S2 PM 12-250S2 PM 12-300S22-Phasen Schrittmotor PM 12-50S2 9.000,- 9.300,- 9.600,- 9.900,- 10.200,-€ / Stck 8.700,- PM 12-100S3 PM 12-150S3 PM 12-200S3 PM 12-250S3 PM 12-300S3 9.600,- 9.900,- 10.200,- 10.500,- 10.800,-3-Phasen Schrittmotor PM 12-50S3€ / Stck 9.300,- 500 550 600 34,4 35,2 36,0Z-Hub mm 350 400 450 PM 12-500S2 PM 12-550S2 PM 12-600S2Gewicht kg 32,0 32,8 33,6 11.600,- 12.000,- 12.400,-2-Phasen Schrittmotor PM 12-350S2 PM 12-400S2 PM 12-450S2 PM 12-500S3 PM 12-550S3 PM 12-600S3€ / Stck 10.500,- 10.800,- 11.200,- 12.200,- 12.600,- 13.000,-3-Phasen Schrittmotor PM 12-350S3 PM 12-400S3 PM 12-450S3€ / Stck 11.100,- 11.400,- 11.800,- 800 900 1000 41,2 42,8 44,4Z-Hub mm 650 700 750 PM 12-800S2 PM 12-900S2 PM 12-1000S2 14.200,- 15.400,- 16.600,-Gewicht kg 37,0 37,6 39,6 PM 12-800S3 PM 12-900S3 PM 12-1000S3 14.800,- 16.000,- 17.200,-2-Phasen Schrittmotor PM 12-650S2 PM 12-700S2 PM 12-750S2€ / Stck 12.800,- 13.200,- 13.600,-3-Phasen Schrittmotor PM 12-650S3 PM 12-700S3 PM 12-750S3€ / Stck 13.400,- 13.800,- 14.200,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ weitere Hübe auf Anfrage 4-Achsen Schrittmotorsteuerung Bedieneroberfläche für PM 12-100S mit DDF 63pS2-20 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-78883-0 704121-78883-17 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-20

UHV Manipulator PM 25UHV Präzisions - Manipulator PM 25 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 160 CF Sackgewinde DN 100 CF, DN 200 CFbeweglicher Flansch DN 63 CF Durchgangsbohrungen DN 40 CF SackgewindeFlanschbohrungenHub XY mm auf Lücke auf SpitzeHub Z mm ± 25 Kreisvektor --Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y,Z mm 50 - 1.000 bis 1.200 auf AnfrageSpindelsteigung der Z - Achse mm manuell Z = 0,05 X,Y = 0,01 Schrittmotorantrieb Z = 0,005 X,Y = 0,005ID Membranbalg Z-Hub mm 4 --Ø Stützlager im X,Y-Tisch für Führungsrohr Z mm Getriebeübersetzung 1:2 46 39 40 / 42 / 44 38Z-Hub mm 50 100 150 200 250 300A mm 302 - 352 302 - 402 302 - 452 302 - 502 302 - 572 342 - 642B mmGewicht kg 506 556 606 656 706 756Artikel 26,8 27,5 28,4 29,2 29,6 31,2€ / Stck PM 25-50 PM 25-100 PM 25-150 PM 25-200 PM 25-250 PM 25-300 8.450,- 8.750,- 9.050,- 9.350,- 9.650,- 9.950,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600A mm 342 - 692 342 - 742 352 - 802 362 - 862 372 - 922 372 - 972B mmGewicht kg 806 856 916 976 1.036 1.086Artikel 32,0 32,8 33,6 34,4 35,2 36,0€ / Stck PM 25-350 PM 25-400 PM 25-450 PM 25-500 PM 25-550 PM 25-600 10.250,- 10.550,- 10.950,- 11.350,- 11.750,- 12.150,-Z-Hub mm 650 700 750 800 900 1.000 412 - 1.152 432 - 1.232 428 - 1.328 448 - 1.448A mm 382 - 1.032 402 - 1.102 1.276 1.347 1.442 1.596B mm 1.146 1.216 38,4 41,2 42,8 44,4 PM 25-750 PM 25-800 PM 25-900 PM 25-1000Gewicht kg 36,8 37,6 13.350,- 13.950,- 15.150,- 16.350,-Artikel PM 25-650 PM 25-700€ / Stck 12.550,- 12.950,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C 272 201 R 78 PM 25-100 272 DN 63 CF 39 Durchgangsbohrungen A B DN 160 CF Gewindebohrungen2-21 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-21

UHV Manipulator PM 25Schrittmotorantrieb PM 25S Standardausführung mögliche AusführungX,Y,Z - Achse 3 Phasen Motor: BRS3 68 H130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y,Z - Achse mit Encoder (Option) Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm -- -- --Z - Achse Spindelsteigung: 4 mm 2 verstellbare Endanschläge für die Z-Achse verstellbare Endlagenschalter für X,Y,Z-AchseZ - Achse Getriebeübersetzung: 1:2Schrittmotorantrieb Z-AchseZ-Hub mm 50 100 150 200 250 300Gewicht kg 28,8 29,6 30,4 31,2 31,6 33,22-Phasen Schrittmotoren PM 25-50SZ2 PM 25-100SZ2 PM 25-150SZ2 PM 25-200SZ2 PM 25-250SZ2 PM 25-300SZ2€ / Stck 8.900,- 9.200,- 9.500,- 9.800,- 10.100,- 10.400,-3-Phasen Schrittmotoren PM 25-50SZ3 PM 25-100SZ3 PM 25-150SZ3 PM 25-200SZ3 PM 25-250SZ3 PM 25-300SZ3€ / Stck 9.100,- 9.400,- 9.700,- 10.000,- 10.300,- 10.600,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600Gewicht kg 34,0 34,8 35,6 36,4 37,2 38,02-Phasen Schrittmotoren PM 25-350SZ2 PM 25-400SZ2 PM 25-450SZ2 PM 25-500SZ2 PM 25-550SZ2 PM 25-600SZ2€ / Stck 10.700,- 11.000,- 11.400,- 11.800,- 12.200,- 12.600,-3-Phasen Schrittmotoren PM 25-350SZ3 PM 25-400SZ3 PM 25-450SZ3 PM 25-500SZ3 PM 25-550SZ3 PM 25-600SZ3€ / Stck 10.900,- 11.200,- 11.600,- 12.000,- 12.400,- 12.800,-Z-Hub mm 650 700 750 800 900 1.000 43,2 44,8 46,5Gewicht kg 38,8 39,6 40,4 PM 25-800SZ2 PM 25-900SZ2 PM 12-1000SZ2 14.400,- 15.600,- 16.800,-2-Phasen Schrittmotoren PM 25-650SZ2 PM 25-700SZ2 PM 25-750SZ2 PM 25-800SZ3 PM 25-900SZ3 PM 12-1000SZ3 14.600,- 15.800,- 17.000,-€ / Stck 13.000,- 13.400,- 13.800,-3-Phasen Schrittmotoren PM 25-650SZ3 PM 25-700SZ3 PM 25-750SZ3€ / Stck 13.200,- 13.600,- 14.000,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder 250 197¤ weitere Hübe auf Anfrage¤ C-Maß = B-Maß - 2mm (siehe Handantrieb) 250 CPM 25-100 mit Schrittmotorantrieb und Endlagenschalter2-22 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-22

UHV Manipulator PM 25Schrittmotorantrieb X,Y,Z-AchseZ-Hub mm 50 100 150 200 250 300Gewicht kg 31,8 33,6 34,4 35,2 35,6 37,22-Phasen Schrittmotoren PM 25-50S2 PM 25-100S2 PM 25-150S2 PM 25-200S2 PM 25-250S2 PM 25-300S2€ / Stck 9.800,- 10.100,- 10.400,- 10.700,- 11.000,- 11.300,-3-Phasen Schrittmotoren PM 25-50S3 PM 25-100S3 PM 25-150S3 PM 25-200S3 PM 25-250S3 PM 25-300S3€ / Stck 10.400,- 10.700,- 11.000,- 11.300,- 11.600,- 11.900,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600Gewicht kg 38,0 38,8 39,6 40,4 41,2 42,02-Phasen Schrittmotoren PM 25-350S2 PM 25-400S2 PM 25-450S2 PM 25-500S2 PM 25-550S2 PM 25-600S2€ / Stck 11.600,- 11.900,- 12.300,- 12.700,- 13.100,- 13.500,-3-Phasen Schrittmotoren PM 25-350S3 PM 25-400S3 PM 25-450S3 PM 25-500S3 PM 25-550S3 PM 25-600S3€ / Stck 12.200,- 12.500,- 12.900,- 13.300,- 13.700,- 14.100,-Z-Hub mm 650 700 750 800 900 1.000 47,2 48,8 50,4Gewicht kg 42,8 43,6 44,4 PM 25-800S2 PM 25-900S2 PM 12-1000S2 15.300,- 16.500,- 17.700,-2-Phasen Schrittmotoren PM 25-650S2 PM 25-700S2 PM 25-750S2 PM 25-800S3 PM 25-900S3 PM 12-1000S 15.900,- 17.100,- 18.300,-€ / Stck 13.900,- 14.300,- 14.700,-3-Phasen Schrittmotoren PM 25-650S3 PM 25-700S3 PM 25-750S3€ / Stck 14.500,- 14.900,- 15.300,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbare Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ weitere Hübe auf Anfrage¤ C-Maß = B-Maß - 2mm (siehe Handantrieb) 4-Achsen Schrittmotorsteuerung Bedieneroberfläche für PM 25-100S mit DDF 63pS2-23 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-23

Zubehör PMDurchführungseinheit 4-Achs-ManipulatorBasisflansch DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CFRotation Grad ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181°Einstellgenauigkeit Grad 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1°übertragbares Drehmoment 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nmmax. Drehzahl U/min 50 50 50 50 50 50 50 50Gewicht kg 7,3 7,4 7,5 7,6 7,7 7,8 7,9 8Artikel PHM-4 100 PHM-4 150 PHM-4 200 PHM-4 250 PHM-4 300 PHM-4 350 PHM-4 400 PHM-4 450€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aAmit LN2-KühlungArtikel PHM-4 100LN PHM-4 150LN PHM-4 200LN PHM-4 250LN PHM-4 300LN PHM-4 350LN PHM-4 400LN PHM-4 450LN€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aA¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°¤ andere Längen auf Anfrage 123 O 38 89 O 10 DN 63 CF Sackgewinde L passend zu Manipulator2-24 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-24

Zubehör PMDurchführungseinheit 4-Achs-Manipulator mit Schrittmotorantrieb für die DrehbewegungBasisflansch DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CFRotation Grad ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181°Einstellgenauigkeit Grad 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1°übertragbares Drehmoment 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nm 10 Nmmax. Drehzahl U/min 50 50 50 50 50 50 50 50Gewicht kg 13,6 13,7 13,8 13,9 14 14,1 14,2 14,3Artikel PHM-4 100S2 PHM-4 150S2 PHM-4 200S2 PHM-4 250S2 PHM-4 300S2 PHM-4 350S2 PHM-4 400S2 PHM-4 450S22-Phasen Schrittmotoren€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aAmit LN2-KühlungArtikel PHM-4 PHM-4 PHM-4 PHM-4 PHM-4 PHM-4 PHM-4 PHM-43-Phasen Schrittmotoren 100LNS3 150LNS3 200LNS3 250LNS3 300LNS3 350LNS3 400LNS3 450LNS3€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aA¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ andere Längen auf Anfrage 106 70 passend zum Probenhalter DN 63 CF Sackgewinde O 38 O 10 202 L passend zum Manipulator VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-25

Zubehör PMDurchführungseinheit 5-Achs-ManipulatorBasisflansch DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CFRotation Grad ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181°Einstellgenauigkeit Grad 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1°übertragbares Drehmoment 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nmmax. Drehzahl U/min 50 50 50 50 50 50 50 50Linearbewegung mm 50 50 50 50 50 50 50 50Einstellgenauigkeit mm 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1übertragbare Kraft N 20 20 20 20 20 20 20 20Gewicht kg 11,5 11,6 11,7 11,8 11,9 12 12,1 12,2Artikel PHM-5 100 PHM-5 150 PHM-5 200 PHM-5 250 PHM-5 300 PHM-5 350 PHM-5 400 PHM-5 450€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aAmit LN2-KühlungArtikel PHM-5 100LN PHM-5 150LN PHM-5 200LN PHM-5 250LN PHM-5 300LN PHM-5 350LN PHM-5 400LN PHM-5 450LN€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aA¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°¤ andere Längen auf Anfrage 224 234 passend zum Probenträger Hub = 50 mm DN 63 CF Sackgewinde O 38 O6 L passend zum Manipulator2-26 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-26

Zubehör PMDurchführungseinheit 5-Achs-Manipulator mit Schrittmotorantrieb für Dreh- und LinearbewegungBasisflansch DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CFRotation Grad ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181° ± 181°Einstellgenauigkeit Grad 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1° 0,1°übertragbares Drehmoment 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nm 5 Nmmax. Drehzahl U/min 50 50 50 50 50 50 50 50Linearbewegung mm 50 50 50 50 50 50 50 50Einstellgenauigkeit mm 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1übertragbare Kraft N 20 20 20 20 20 20 20 20Gewicht kg 13,6 13,7 13,8 13,9 14 14,1 14,2 14,3Artikel PHM-5 100S2 PHM-5 150S2 PHM-5 200S2 PHM-5 250S2 PHM-5 300S2 PHM-5 350S2 PHM-5 400S2 PHM-5 450S22-Phasen Schrittmotoren€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aAmit LN2-KühlungArtikel PHM-5 PHM-5 PHM-5 PHM-5 PHM-5 PHM-5 PHM-5 PHM-53-Phasen Schrittmotoren 100LNS2 150LNS2 200LNS2 250LNS2 300LNS2 350LNS2 400LNS2 450LNS2€ / Stck aA aA aA aA aA aA aA aA¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°¤ andere Längen auf Anfrage 224 passend zum Probenhalter Hub = 50 mm DN 63 CF Sackgewinde O 38 O6 280 L passend zu Manipulator 4662-27 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-27

Zubehör PMProbenheizer e-beam mit LN2 Kühlung Standardausführung mögliche AusführungProbenhalter Standard Standard e-beam -Temperaturbereich 90K - 1.500 K je nach Probenhalter Typ-S Typ-CTemperaturmessung Thermoelement 2 x Typ-K PBN-Heizer -Versorgungsspannung für e-beam Heizer ca. 3 V - 3,5 A (hochspannungsisoliert) 1 -1,5 kV - aApassend zu Kryostat HVK-ST...EBArtikel UHS-EB-TC-LN € / Stück 5.250,-¤ Netzgerät für e-beam Heizer ist nicht im Preis enthalten: Preis auf Anfrage¤ Maß A bei Bestellung bitte angeben¤ Probenhalter ist nicht im Preis enthalten: Preis auf Anfrage 30 39 30 18 1 15 28 Offset 0 - 6 102 18 1 15 4 4 Standard Probenhalter Standard Probenhalter für e-beam Heizung2-28 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-28

Zubehör PM für Manipulator PM 12 und PM 25 ± 27,5 Horizontalstütze max. 230 Hub X,Y mm HST Ausheiztemperatur °C Artikel 1.090,- € / Stück 215 u27,5 2506 220 48 140 60 6 120 125 140 1202-29 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-29

UHV Manipulator MAXUHV Präzisions-Manipulator MAX 25 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 100 CF Sackgewinde DN 160 CF Sackgewindebeweglicher Flansch DN 100 CF DN 63 CFFlanschbohrungen auf Lücke auf SpitzeHub X,Y mm ± 25 Kreisvektor --Hub Z mm 50 - 700 bis 1.000Einstellgenauigkeit reproduzierbar mm manuell XY = 0,01 Z = 0,01 --Spindelsteigung der Z - Achse mm 4 Getriebe: Übersetzung 1:20 5 KugelumlaufspindelMembranbalg ID mm 102 --zusätzliche montierbares Gewicht kg 50 --Z-Hub mm 50 75 100 150 200 250 300A mm 168 - 218 168 - 243 168 - 268 168 - 318 267 - 467 267 - 517 267-567B mm 470 495 520 570 620 670 720Gewicht kg 36,1 36,4 36,7 37,1 34,8 36,0 37,2Artikel MAX 25-50 MAX 25-75 MAX 25-100 MAX 25-150 MAX 25-200 MAX 25-250 MAX 25-300€ / Stck 7.400,- 7.600,- 7.800,- 8.200,- 8.600,- 9.000,- 9.400,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600 700 277-777 287-837 297-897 317-1.017A mm 267-617 267-667 267-717 930 990 1.050 1.170B mm 770 820 870 42,0 43,2 44,6 47,0 MAX 25-500 MAX 25-550 MAX 25-600 MAX 25-700Gewicht kg 38,4 39,6 40,8 11.000,- 11.400,- 11.800,- 12.600,-Artikel MAX 25-350 MAX 25-400 MAX 25-450€ / Stck 9.800,- 10.200,- 10.600,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Basisflansch mit Durchgangsbohrungen: Länge A und B + 30 mm¤ Handantrieb oben (Z-Achse): Aufpreis 600,- € B = + 35 mm M10 beidseitig für Kranösen A MAX 25-50 B DN 100 CF Gewindebohrungen ab Hub 200 Durchgangsbohrung DN 100 CF Gewindebohrungen 162 Hub= 200-700 292 178 292 Oi 100 256 MAX 25-50 mit DDF 100 pl2-30 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-30

UHV Manipulator MAXSchrittmotorantrieb MAX 25 Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb X,Y 3 Phasen Motor: BRS3 68 H130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb X,Y mit Encoder(Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)Schrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 299-E4.5B (Oriental)Schrittmotorantrieb Z mit Encoder(Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 361 ACA (Schneider) --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung: 5 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- Getriebeübersetzung: 1:20 1 verstellbarer Endanschlag für die Z-Achse verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb Z - AchseZ-Hub mm 50 75 100 150 200 250 300Gewicht kg 40,1 41,4 42,7 44,1 38,8 40 41,22-Phasen Motor MAX 25-50SZ2 MAX 25-75SZ2 MAX 25-100SZ2 MAX 25-150SZ2 MAX 25-200SZ2 MAX 25-250SZ2 MAX 25-300SZ2€ / Stck 8.150,- 8.350,- 8.550,- 8.950,- 9.350,- 9.750,- 10.150,-3-Phasen Motor MAX 25-50SZ3 MAX 25-75SZ3 MAX 25-100SZ3 MAX 25-150SZ3 MAX 25-200SZ3 MAX 25-250SZ3 MAX 25-300SZ3€ / Stck 8.350,- 8.550,- 8.750,- 9.150,- 9.550,- 9.950,- 10.350,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600 700Gewicht kg 42,4 43,6 44,8 46 47,2 48,4 50,82-Phasen Motor MAX 25-350SZ2 MAX 25-400SZ2 MAX 25-450SZ2 MAX 25-500SZ2 MAX 25-550SZ2 MAX 25-600SZ2 MAX 25-700SZ2€ / Stck 10.550,- 10.950,- 11.350,- 11.750,- 12.150,- 12.550,- 13.350,-3-Phasen Motor MAX 25-350SZ3 MAX 25-400SZ3 MAX 25-450SZ3 MAX 25-500SZ3 MAX 25-550SZ3 MAX 25-600SZ3 MAX 25-700SZ3€ / Stck 10.750,- 11.150,- 11.550,- 11.950,- 12.350,- 12.750,- 13.550,-Schrittmotorantrieb X,Y,Z - AchseZ-Hub mm 50 75 100 150 200 250 300 45,7 47,1 41,8 43,0 44,2Gewicht kg 43,1 44,4 MAX 25-100S2 MAX 25-150S2 MAX 25-200S2 MAX 25-250S2 MAX 25-300S2 9.450,- 9.850,- 10.250,- 10.650,- 11.050,-2-Phasen Motor MAX 25-50S2 MAX 25-75S2 MAX 25-100S3 MAX 25-150S3 MAX 25-200S3 MAX 25-250S3 MAX 25-300S3 10.050,- 10.450,- 10.850,- 11.250,- 11.650,-€ / Stck 9.050,- 9.250,- 500 550 600 7003-Phasen Motor MAX 25-50S3 MAX 25-75S3 49,0 50,2 51,4 53,8 MAX 25-500S2 MAX 25-550S2 MAX 25-600S2 MAX 25-700S2€ / Stck 9.650,- 9.850,- 12.650,- 13.050,- 13.450,- 14.250,- MAX 25-500S3 MAX 25-550S3 MAX 25-600S3 MAX 25-700S3Z-Hub mm 350 400 450 13.250,- 13.650,- 14.050,- 14.850,-Gewicht kg 45,4 46,6 47,82-Phasen Motor MAX 25-350S2 MAX 25-400S2 MAX 25-450S2€ / Stck 11.450,- 11.850,- 12.250,-3-Phasen Motor MAX 25-350S3 MAX 25-400S3 MEAX 25-450S3€ / Stck 12.050,- 12.450,- 12.850,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ Motorantrieb oben (Z-Achse): Aufpreis 600,- € B = + 35 mm 287,0 O 100287,0 252 272 ab Hub 200 MAX 25-50S mit DDF 100PLS 2-31 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-73095 704121-72255 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-31

UHV Manipulator MAX 4-Achsen Schrittmotorsteuerung Bedieneroberfläche für MAX 25-50S mit DDF 160pLS MAX 25-200S mit Horizontalstütze HST2-32 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-32

UHV Manipulator MEGA 25UHV Präzisions-Manipulator MEGA 25 Standardausführung mögliche Ausführung DN 200 CF SackgewindeBasisflansch DN 160 CF Sackgewindebeweglicher Flansch DN 160 CF DN 100 CF, DN 63 CFFlanschbohrungen auf Lücke auf SpitzeHub X,Y mm ± 25 Kreisvektor --Hub Z mm 50 - 700 bis 1.000Einstellgenauigkeit reproduzierbar mm manuell XY = 0,01 Z = 0,01 --Spindelsteigung der Kugelumlaufspindel Z - Achse mm 5 Getriebe: Übersetzung 1:20 --Membranbalg ID mm 150 --zusätzliche montierbares Gewicht kg 50 --Z-Hub mm 50 75 100 150 200 250 300A mm 210 - 260 210 - 285 210 - 310 309 - 459 309- 509 309- 559 309 - 609B mm 513 538 563 613 663 713 763Gewicht kg 53,5 54,3 55 56,5 58 59,5 61Artikel MEGA 25-50 MEGA 25-75 MEGA 25-100 MEGA 25-150 MEGA 25-200 MEGA 25-250 MEGA 25-300€ / Stck 9.850,- 10.100,- 10.350,- 10.850,- 11.350,- 11.850,- 12.350,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600 700A mm 309 - 659 309 - 709 309 - 759 319 - 819 329 - 879 339 - 939 359 - 1.059B mm 813 863 913 973 1.033 1.093 1.213Gewicht kg 62 63,5 64,5 67,5 69 70,5 73,5Artikel MEGA 25-350 MEGA 25-400 MEGA 25-450 MEGA 25-500 MEGA 25-550 MEGA 25-600 MEGA 25-700 15.350,- 16.350,-€ / Stck 12.850,- 13.350,- 13.850,- 14.350,- 14.850,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C¤ Basisflansch mit Durchgangsbohrungen: Länge A und B + 30 mm¤ Handantrieb oben (Z-Achse): Aufpreis 600,- € B = + 35 mm M10 beidseitig für Kranösen MEGA 25-100 A B DN 160 CF Gewindebohrungen ab 150 Hub Durchgangsbohrung DN 160 CF Gewindebohrungen 185 Hub=150-700 342 203 O 150 342 356 MEGA 25-100 mit DDF 100PL2-33 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-33

UHV Manipulator MEGASchrittmotorantrieb MEGA 25 Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb X,Y 3 Phasen Motor: BRS3 68 H130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb X,Y mit Encoder(Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR-L (Oriental)Schrittmotorantrieb Z 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH360 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 299-E4.5B (Oriental)Schrittmotorantrieb Z mit Encoder(Option) 3 Phasen Motor: BRS3 9 AH 361 ACA (Schneider) --X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --Z - Achse Kugelumlaufspindel Steigung: 5 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- Getriebeübersetzung: 1:20 1 verstellbarer Endanschlag für die Z-Achse verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb Z - AchseZ-Hub mm 50 75 100 150 200 250 300Gewicht kg 60,5 61,3 62 63,5 65 66,5 672-Phasen Motor MEGA 25-50SZ2 MEGA 25-75SZ2 MEGA 25-100SZ2 MEGA 25-150SZ2 MEGA 25-200SZ2 MEGA 25-250SZ2 MEGA 25-300SZ2€ / Stck 10.500,- 10.750,- 11.000,- 11.500,- 12.000,- 12.500,- 13.000,-3-Phasen Motor MEGA 25-50SZ3 MEGA 25-75SZ3 MEGA 25-100SZ3 MEGA 25-150SZ3 MEGA 25-200SZ3 MEGA 25-250SZ3 MEGA 25-300SZ3€ / Stck 10.700,- 10.950,- 11.200,- 11.700,- 12.200,- 12.700,- 13.200,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600 700 70,5 73 75,5 78 83Gewicht kg 68 69 MEGA 25-450SZ2 MEGA 25-500SZ2 MEGA 25-550SZ2 MEGA 25-600SZ2 MEGA 25-700SZ2 14.500,- 15.000,- 15.500,- 16.000,- 17.000,-2-Phasen Motor MEGA 25-350SZ2 MEGA 25-400SZ2 MEGA 25-450SZ3 MEGA 25-500SZ3 MEGA 25-550SZ3 MEGA 25-600SZ3 MEGA 25-700SZ3 14.700,- 15.200,- 15.700,- 16.200,- 17.200,-€ / Stck 13.500,- 14.000,- 100 150 200 250 3003-Phasen Motor MEGA 25-350SZ3 MEGA 25-400SZ3 64 65,5 67 68,5 69 MEGA 25-100S2 MEGA 25-150S2 MEGA 25-200S2 MEGA 25-250S2 MEGA 25-300S2€ / Stck 13.700,- 14.200,- 11.900,- 12.400,- 12.900,- 13.400,- 13.900,- MEGA 25-100S3 MEGA 25-150S3 MEGA 25-200S3 MEGA 25-250S3 MEGA 25-300S3Schrittmotorantrieb X,Y,Z - Achsen 12.500,- 13.000,- 13.500,- 14.000,- 14.500,-Z-Hub mm 50 75Gewicht kg 62,5 63,52-Phasen Motor MEGA 25-50S2 MEGA 25-75S2€ / Stck 11.400,- 11.650,-3-Phasen Motor MEGA 25-50S3 MEGA 25-75S3€ / Stck 12.000,- 12.250,-Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600 700 75 77,5 80 85Gewicht kg 70 71 72,5 MEGA 25-500S2 MEGA 25-550S2 MEGA 25-600S2 MEGA 25-700S2 15.900,- 16.400,- 16.900,- 17.900,-2-Phasen Motor MEGA 25-350S2 MEGA 25-400S2 MEGA 25-450S2 MEGA 25-500S3 MEGA 25-550S3 MEGA 25-600S3 MEGA 25-700S3 16.500,- 17.000,- 17.500,- 18.500,-€ / Stck 14.400,- 14.900,- 15.400,-3-Phasen Motor MEGA 25-350S3 MEGA 25-400S3 MEGA 25-450S3€ / Stck 15.000,- 15.500,- 16.000,-¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH¤ Option : Linearpotentiometer, Linear-Encoder¤ Motorantrieb oben (Z-Achse): Aufpreis 600,- € B = + 35 mm 273 332 293 Hub=50-700 332 MEGA 25-50S mit DDF 160pLS2-34 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-34

UHV Manipulator MEGA 4-Achsen Schrittmotorsteuerung Bedieneroberfläche für MEGA 25-50S mit DDF 160pLS MEGA 25-200S mit Horizontalstütze HST2-35 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 2-35

UHV XY - Tisch PMK 12-XYUHV Präzisions XY-Tisch PMK 12-XY Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 63 CF Sackgewinde DN 40 CF -beweglicher Flansch DN 40 CF Sackgewinde auf SpitzeFlanschbohrungen Basisflansch auf Lücke -- beweglicher doppelte Anzahl Bohrungen -- --Hub X,Y mm ± 12,5 KreisvektorEinstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm manuell X,Y = 0,01Membranbalg ID mm 52,4Gewicht kg 5,6 ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbarArtikel PMK 12-XY ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C€ / Stck 2.450,- 130 184 DN 63 CF Gewinde Oi 52 DN 40 CF Gewinde 40 106 184Schrittmotorantrieb PMK 12-XYS Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne MotorGewicht kg 7,3 ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH2-Phasen Motor PMK 12-XYS2 ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder€ / Stck 3.350-3-Phasen Motor PMK 12-XYS3€ / Stck 3.750,- PMK 12-XY S2 mit Endlagenschalter 193 2-Phasen 232 3-Phasen3-1 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 3-1

UHV X - Tisch X40-12UHV Präzisions X-Tisch PM-X 12 Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 40 CF Sackgewinde DN 63 CF -beweglicher Flansch DN 40 CF Sackgewinde auf SpitzeFlanschbohrungen Basisflansch doppelte Anzahl Bohrungen -- beweglicher doppelte Anzahl Bohrungen -- --Hub X,Y mm ± 12,5 90Einstellgenauigkeit reproduzierbar X mm manuell X = 0,01Membranbalg ID mm 39Gewicht kg 3,1 ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbarArtikel X40-12 12 ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C€ / Stck 1.750,- 108 130 38 DN 40 CF Sackgewinde DN 40 CF Sackgewinde 198 X40-12Schrittmotorantrieb X40-12S Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb X - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne MotorGewicht kg 3,8 ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH2-Phasen Motor X40-12S2 ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder€ / Stck 2.200-3-Phasen Motor X40-12S3€ / Stck 2.400,- 209 X40-12 S2 mit Endlagenschalter3-2 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 3-2

UHV XY - Tisch PMM 12-XYUHV Präzisions XY-Tisch PMM 12-XY Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 63 CF Sackgewinde DN 100 CF Sackgewinde -beweglicher Flansch DN 63 CF Sackgewinde auf SpitzeFlanschbohrungen Basisflansch auf Lücke -- beweglicher Flansch auf Lücke -- --Hub X,Y mm ± 12,5 KreisvektorEinstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm manuell X,Y = 0,01Membranbalg ID mm 70,5Gewicht kg 6,7 ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbarArtikel PMM 12-XY ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C€ / Stck 2.980,- 155,0 114,5 202 165 DN 63 CF Sackgewinde DN 63 CF Sackgewinde 197Schrittmotorantrieb PMM 12-XYS Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne MotorGewicht kg 8,8 ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH2-Phasen Motor PMM 12-XYS2 ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder€ / Stck 3.880,-3-Phasen Motor PMM 12-XYS3€ / Stck 4.280,- PMM 12 - XY S2 211,5 215,5 mit Endlagenschalter3-3 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 3-3

UHV XY-Tisch PM 112-XYUHV Präzisions XY-Tisch PM 112-XY Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 100 CF Sackgewinde DN 160 CF Sackgewinde -beweglicher Flansch DN 100 CF Sackgewinde auf SpitzeFlanschbohrungen Basisflansch auf Lücke -- beweglicher Flansch auf Lücke -- --Hub X,Y mm ± 12,5 KreisvektorEinstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm manuell X,Y = 0,01Membranbalg ID mm 98Gewicht kg 9,3 ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbarArtikel PM 112-XY ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C€ / Stck 4.150,- 190 100 214 DN 100 CF Sackgewindebohrungen DN 100 CF Sackgewindebohrungen 214 140 190Schrittmotorantrieb PM 112-XYS Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne MotorGewicht kg 11,5 ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH2-Phasen Motor PM 112-XYS2 ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder€ / Stck 5.050,-3-Phasen Motor PM 112-XYS3€ / Stck 5.450,- 239 PM 112 - XY S2 239 mit Endlagenschalter3-4 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 3-4

UHV XY-Tisch PM 125-XYUHV Präzisions XY-Tisch PM 125-XY Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 100 CF Sackgewinde DN 160 CF Sackgewinde -beweglicher Flansch DN 100 CF Sackgewinde auf SpitzeFlanschbohrungen Basisflansch auf Lücke -- beweglicher Flansch auf Lücke -- --Hub X,Y mm ± 25 Kreisvektor 164Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm manuell X,Y = 0,01Membranbalg ID mm 98Gewicht kg 14,9 ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbarArtikel PM 125-XY ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C€ / Stck 4.750,- 215 272 100 215 DN100 CF Sackgewinde DN100 CF Sackgewinde 272Schrittmotorantrieb PM 125-XYS Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne MotorGewicht kg 16,2 ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH2-Phasen Motor PM 125-XYS2 ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder€ / Stck 5.650,-3-Phasen Motor PM 125-XYS3 266€ / Stck 6.050,- 266 PM 125-XY S2 mit Endlagenschalter3-5 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 3-5

UHV XY - Tisch PM 12-XYUHV Präzisions XY-Tisch PM 12-XY Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 100 CF Sackgewinde DN 63/160/200 CF Sackgewindebeweglicher Flansch DN 50 CF Sackgewinde DN 40/63 CF SackgewindeFlanschbohrungen Basisflansch auf Lücke auf Spitze beweglicher Flansch auf LückeHub X,Y mm ± 12,5 Kreisvektor --Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm manuell X,Y = 0,01 --Membranbalg ID mm 70,5 --Gewicht kg 10,9 ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbarArtikel PM 12-XY ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C€ / Stck 3.750,- 170 130,3 85 140 204 204 52 DN100 CF Sackgewindebohrungen DN50 CFSackgewindebohrungenSchrittmotorantrieb PM 12-XYS Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne MotorGewicht kg 12,8 ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH2-Phasen Motor PM 12-XYS2 ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder€ / Stck 4.650,-3-Phasen Motor PM 12-XYS3€ / Stck 5.050,- 229 PM 12-XY S2 mit Endlagenschalter 2293-6 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-78883-0 704121-78883-17 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 3-6

UHV XY - Tisch PM 25-XYUHV Präzisions XY-Tisch PM 25-XY Standardausführung mögliche AusführungBasisflansch DN 160 CF Sackgewinde DN 40/100/200 CF Sackgewindebeweglicher Flansch DN 50 CF Sackgewinde DN 63 CF SackgewindeFlanschbohrungen Basisflansch auf Lücke auf Spitze beweglicher Flansch auf LückeHub X,Y mm ± 25 Kreisvektor --Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm manuell X,Y = 0,01 --Membranbalg ID mm 92 --Gewicht kg 16,3 ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbarArtikel PM 25-XY ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C€ / Stck 4.600,- 215 153 27252 108 140 DN 100 CF Sackgewinde DN 50 CF Sackgewinde 272Schrittmotorantrieb PM 25-XYS Standardausführung mögliche AusführungSchrittmotorantrieb 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 130 ABB (Schneider) 2 Phasen Motor: PKP 268 MD 28B (Oriental)Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Phasen Motor: BRS3 68 H 131 ACA (Schneider) 2 Phasen Motor: PK 268 M-02AR22-L (Oriental)X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm -- verstellbare EndlagenschalterSchrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10-10 mbar l s-1 , Druckbereich 1 bar bis 10-11 mbar ¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne MotorGewicht kg 17,8 ¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M ¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH2-Phasen Motor PM 25-XYS2 ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder€ / Stck 5.500,-3-Phasen Motor PM 25-XYS3€ / Stck 5.900,- 266 PM 25-XY mit Endlagenschalter 2663-7 VAb Vakuum-Anlagenbau GmbH '04121-788830 704121-7888317 e-mail: [email protected] http://www.vab-vakuum.de 3-7