РКС 2023 2

["100 \u041a. \u0414. \u0428\u0415\u0421\u0422\u0410\u041a\u041e\u0412\u0410 \u043d\u0430 3 %. \u041e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0439 \u0438 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043e\u0435\u043c- 3. Hyun-Seok Kim, Jung-Mu Kim, Yong-Seung Bang, \u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e- Eun-Seok Song, Chang-Hyeon Jiand, Yong-Kweon Kim. \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e Fabrication of a vertical side wall using double-sided \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430, \u043f\u0440\u043e\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0434\u043e 40 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0439 \u043f\u043e anisotropic etching of (100) oriented silicon \/\/ J. Mi- 9 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438. cromech. Microeng., 2012, vol. 22. 11 p. \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 4. \u0418\u0432\u0430\u0449\u0435\u043d\u043a\u043e \u0415. \u0418., \u0426\u0432\u0435\u0442\u043a\u043e\u0432 \u042e. \u0411. \u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e- \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b V \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443- \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u044b\u043b \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d \u043e\u043f- \u043d\u0430\u0440. \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444. \u00ab\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438\u00bb. \u041c., 1999. \u0421. 72\u201376. \u0431\u0430\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0441\u043e\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438- \u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442- 5. \u0418\u0432\u0430\u0449\u0435\u043d\u043a\u043e \u0415. \u0418., \u0426\u0432\u0435\u0442\u043a\u043e\u0432 \u042e. \u0411. \u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0443\u0432- \u0440\u043e\u0432. \u0414\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430 23 %, \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0432 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043e\u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438- \u043d\u0430 5 %, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0433\u0440\u0435\u0448\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u043f\u0440\u0443- \u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u0422\u0435\u0437\u0438\u0441\u044b \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u0432 \u0433\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0441\u0430 \u043f\u043e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0441\u0438\u043b\u0430 \u00b10,5 \u043c\u043a\u043c. IX \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440. \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444. \u00ab\u0414\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043b\u0438\u0442\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb. \u0413\u0443\u0440\u0437\u0443\u0444, 1998. \u0421. 21. 1. \u0412\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u0430 \u0415. \u0412., \u0421\u043c\u0438\u0440\u043d\u043e\u0432 \u0418. \u041f., \u041a\u043e\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0414. \u0412., \u0417\u0430\u043f\u0435\u0442- 6. \u0411\u0443\u0434\u043a\u0438\u043d \u0412. \u041b., \u041f\u0430\u0440\u0448\u0438\u043d \u0412. \u0410., \u041f\u0440\u043e\u0437\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0421. \u0412., \u0421\u0430\u043b\u043e- \u043b\u044f\u0435\u0432 \u0412. \u041c. \u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0438\u043d \u0410. \u041a., \u0421\u043e\u043b\u043e\u0432\u044c\u0435\u0432 \u0412. \u041c. \u0418\u043d\u0435\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0430\u044f\u0442\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0430\u043a- \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043d\u0430\u0432\u0438\u0433\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \/\/ \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c- \u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \/\/ \u0420\u0430\u043a\u0435\u0442\u043d\u043e-\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e- \u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430, 2000, \u2116 2. \u0421. 31\u201334. \u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, 2017, \u0442. 4, \u2116 2. \u0421. 95\u2013102. 7. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u2116 2794560 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f 2. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u2116 2207658 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0421\u043f\u043e- \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d- \u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0435\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c- \u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0430: \u2116 2022122545: \u043d\u043e\u0433\u043e \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438- \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b. 19.08.2022: \u043e\u043f\u0443\u0431\u043b. 21.04.2023 \/ \u0421\u043c\u0438\u0440\u043d\u043e\u0432 \u0418. \u041f., \u043f\u0430: \u2116 2001119005\/28: \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b. 09.07.2001: \u043e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u041a\u043e\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0414. \u0412., \u0425\u0430\u0440\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u041c. \u0421., \u0428\u0435\u0441\u0442\u0430\u043a\u043e\u0432\u0430 \u041a. \u0414., \u041a\u043e\u0440- 27.06.2003 \/ \u041c\u043e\u043a\u0440\u043e\u0432 \u0415. \u0410., \u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u0446\u043e\u0432 \u042e. \u0410., \u041a\u043e- \u043f\u0443\u0445\u0438\u043d \u0410. \u0421. \u0411\u044e\u043b. \u2116 12. 18 \u0441. \u0437\u0438\u043d \u0421. \u0410., \u0410\u043a\u0438\u043c\u043e\u0432 \u0418. \u0413., \u0424\u0435\u0434\u0443\u043b\u043e\u0432 \u0410. \u0412., \u0427\u0438\u0441\u0442\u044f\u043a\u043e- \u0432\u0430 \u0422. \u0413., \u0410\u043d\u0443\u0444\u0440\u0438\u0435\u0432 \u042e. \u0421. \u0411\u044e\u043b. \u2116 12. 11 \u0441. \u0414\u0430\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0443\u043a\u043e\u043f\u0438\u0441\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0434\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e 22.03.2023 \u0414\u0430\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u0440\u0443\u043a\u043e\u043f\u0438\u0441\u0438 \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u044c 26.05.2023 \u0420\u0410\u041a\u0415\u0422\u041d\u041e-\u041a\u041e\u0421\u041c\u0418\u0427\u0415\u0421\u041a\u041e\u0415 \u041f\u0420\u0418\u0411\u041e\u0420\u041e\u0421\u0422\u0420\u041e\u0415\u041d\u0418\u0415 \u0418 \u0418\u041d\u0424\u041e\u0420\u041c\u0410\u0426\u0418\u041e\u041d\u041d\u042b\u0415 \u0421\u0418\u0421\u0422\u0415\u041c\u042b \u0442. 10 \u0432\u044b\u043f. 2 2023","\u00d2\u00ce\u00cc 10.\u00c2\u00db\u00cf\u00d3\u00d1\u00ca2.2023 \u00c4\u00e8\u00f1\u00f2\u00e0\u00ed\u00f6\u00e8\u00ee\u00ed\u00ed\u00ee\u00e5\u00e7\u00ee\u00ed\u00e4\u00e8\u00f0\u00ee\u00e2\u00e0\u00ed\u00e8\u00e5\u00e7\u00e5\u00ec\u00eb\u00e8 \u0416\u0443\u0440\u043d\u0430\u043b\u0437\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0432\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439\u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u0435\u043f\u043e\u043d\u0430\u0434\u0437\u043e\u0440\u0443\u0432\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435\u0441\u0432\u044f\u0437\u0438, \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\u0438\u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u044b\u0445\u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439. \u0421\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e\u041f\u0418\u2116 \u0424\u042177-55464\u043e\u044225\u0441\u0435\u043d\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f2013\u0433. \u0421\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e\u042d\u043b\u2116 \u0424\u042177-77250\u043e\u044220\u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f2019\u0433. ISSN:2587-9057 \u00a9\u0410\u041e\u00ab\u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b\u00bb \u0416\u0443\u0440\u043d\u0430\u043b\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0432\u0420\u0418\u041d\u0426. \u0416\u0443\u0440\u043d\u0430\u043b\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0432\u041f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0435\u043d\u044c\u0440\u0435\u0446\u0435\u043d\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445\u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445\u0438\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0439\u0412\u0410\u041a. \u041f\u043e\u0434\u043f\u0438\u0441\u043d\u043e\u0439\u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441\u0438\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f94086\u0432\u041e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u043e\u0433\u0435\u00ab\u041f\u0440\u0435\u0441\u0441\u0430\u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438\u00bb \u00cd\u00e0\u00e8\u00ec\u00e5\u00ed\u00ee\u00e2\u00e0\u00ed\u00e8\u00e5\u00f3\u00f7\u00f0\u00e5\u00e4\u00e8\u00f2\u00e5\u00eb\u00ff:\u00c0\u00ce\u00ab\u00d0\u00ee\u00f1\u00f1\u00e8\u00e9\u00f1\u00ea\u00e8\u00e5\u00ea\u00ee\u00f1\u00ec\u00e8\u00f7\u00e5\u00f1\u00ea\u00e8\u00e5\u00f1\u00e8\u00f1\u00f2\u00e5\u00ec\u00fb\u00bb 111250,\u00e3.\u00cc\u00ee\u00f1\u00ea\u00e2\u00e0,\u00f3\u00eb.\u00c0\u00e2\u00e8\u00e0\u00ec\u00ee\u00f2\u00ee\u00f0\u00ed\u00e0\u00ff,\u00e4.53 \u00c3\u00eb\u00e0\u00e2\u00ed\u00fb\u00e9\u00f0\u00e5\u00e4\u00e0\u00ea\u00f2\u00ee\u00f0:\u00ca\u00f0\u00f3\u00e3\u00eb\u00ee\u00e2 \u00c0.\u00c2. \u00d2\u00e5\u00eb.:+7(495)673-96-29 E-mail:[email protected] www.spacedevice.ru \u00ce\u00e1\u00fa\u00e5\u00ec \u00e4\u00e0\u00ed\u00ed\u00fb\u00f5:12,3\u00cc\u00e1 \u00cf\u00ee\u00e4\u00ef\u00e8\u00f1\u00e0\u00ed\u00ee\u00e2 \u00ef\u00e5\u00f7\u00e0\u00f2\u00fc29.05.2023.",""]