รายงานการชี้บ่งอันตรายอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์

การชีบ้ ่งอนั ตรายจากอตุ สาหกรรมอเิ ลก็ ทรอนกิ ส์ ตสั นีม อาหวังและคณะ นักศึกษาชั้นปีที่ 2 สาขาวิชาอาชีวอนามัยและความปลอดภยั รายงานการศึกษาคน้ คว้าน้เี ป็นส่วนหนึ่งของรายวชิ า 924-210 การประเมนิ ความเส่ยี งและการจัดการความเสี่ยงในทางอาชีวอนามยั มหาวทิ ยาลัยสงขลานครินทร์ วทิ ยาเขตสรุ าษฎรธ์ านี ปีการศึกษา 2/2563

การช้บี ง่ อนั ตรายจากอุตสาหกรรมอิเลก็ ทรอนิกส์ นางสาว ตสั นมี อาหวงั 6240311313 นางสาว นสิ รนี ดารากัย 6240311318 นาย นุอยั ม์ สาระยา 6240311319 นางสาว ปุณยาพร ขาวคุ้ง 6240311326 นาย ศกั รนิ ทร์ ปานเพ็ง 6240311337 นาย อัฮหมัดอกิ เราะ หวนั ดิน 6240311379 นาย อดั นันท์ วาจิ 6240311384 รายงานการศึกษาคน้ ควา้ นี้เปน็ ส่วนหนึ่งของรายวชิ า 924-210 การประเมนิ ความเสี่ยงและการจดั การความเส่ียงในทางอาชวี อนามยั มหาวทิ ยาลยั สงขลานครินทร์ วิทยาเขตสรุ าษฎร์ธานี ปกี ารศกึ ษา 2/2563

คานา รายงานเล่มนีจ้ ดั ทาขน้ึ เพ่ือเป็นสว่ นหน่ึงในรายวชิ า 924-210 การประเมินความเสย่ี งและการจดั การ ความเสี่ยงในทางอาชีวอนามัย (OCC Health Risk Ass & Risk MGT) โดยมีวตั ถปุ ระสงค์เพ่ือศึกษาหาความรู้ เกีย่ วกบั พนื้ ฐานอุตสาหกรรมอเิ ล็กทรอนิกส์ เพ่ือนามาช้ีบ่งอันตรายจากกระบวนการผลติ ท่ีเกย่ี วกับอุตสาหกรรม อเิ ล็กทรอนกิ ส์ ด้วยวิธี What if และ Failure Modes and Effects Analysis (FMEA) และเพ่ือใชเ้ ปน็ ความรู้ เพิ่มเติมควบคู่กับการเรยี นในรายวชิ าดงั กล่าว นอกจากนี้ยังสามารถนาไปปรบั ใชใ้ นการควบคมุ และป้องกัน อันตรายหรือความเสี่ยงท่ีอาจเกดิ ขนึ้ ในอนาคต โดยเนอ้ื หาในรายงานฉบับนี้ประกอบไปด้วยความร้พู ้ืนฐานเกี่ยวกับ อตุ สาหกรรมอเิ ล็กทรอนิกส์ กระบวนการผลิตทเ่ี ก่ียวข้องกบั อตุ สาหกรรมอเิ ล็กทรอนิกส์ และการวเิ คราะหอ์ นั ตราย จากกระบวนการผลิต ผู้จัดทาหวังเป็นอย่างย่ิงวา่ การจดั ทารายงานฉบบั นี้ จะเป็นประโยชนต์ ่อผทู้ ส่ี นใจศึกษาในเรอื่ งดังกลา่ ว เปน็ อย่างมาก หากผดิ พลาดประการใดผจู้ ัดทาขออภยั มา ณ ท่นี ้ีดว้ ย นางสาวตสั นมี อาหวังและคณะ (03/03/2564)

สารบัญ การช้บี ง่ อนั ตรายจากกระบวนการผลิตทเ่ี ก่ียวกับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนกิ ส์ ..................................................1 ความรพู้ ื้นฐานเกย่ี วกับอตุ สาหกรรมอเิ ลก็ ทรอนิกส์ .....................................................................................1 อุตสาหกรรมขัน้ ต้น ...............................................................................................................................1 อตุ สาหกรรมข้ันกลาง .............................................................................................................................2 อุตสาหกรรมข้นั ปลาย.............................................................................................................................3 อุตสาหกรรมต่อเนอ่ื ง ..............................................................................................................................4 วิเคราะหอ์ นั ตรายจากกระบวนการผลิตท่ีเกย่ี วกบั อตุ สาหกรรมอเิ ลก็ ทรอนิกส์.............................................5 กระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ ..................................................................................................................... 5 ข้นั ตอนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ ..................................................................................................................5 แผนผงั กระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์..........................................................................................................6 วเิ คราะห์และชีบ้ ่งอนั ตรายและการประเมินความเสีย่ งด้วยวธิ ี What if Analysis......................................7 วิเคราะห์ช้ีบง่ อนั ตรายและการประเมนิ ความเสย่ี งด้วยวิธี FMEA..............................................................12 เคร่ืองจกั ร หรืออปุ กรณ์ท่ใี ชใ้ นการวิเคราะห์กระบวนการผลติ แผ่นเวเฟอร์................................................13 ตารางวเิ คราะหช์ บ้ี ่งอันตรายและการประเมินความเสยี่ งด้วยวธิ ีFMEA......................................................14 บรรณานุกรม................................................................................................................................................21

1 การชบี้ ง่ อันตรายจากกระบวนการผลิตท่เี กีย่ วกบั อุตสาหกรรมอิเลก็ ทรอนกิ ส์ ความรู้พ้นื ฐานเกี่ยวกบั อุตสาหกรรมอิเลก็ ทรอนิกส์ อตุ สาหกรรมอเิ ลก็ ทรอนิกส์ในประเทศไทยมอี ายุกว่า 40 ปี โดยเรมิ่ ตน้ เมอ่ื รัฐบาลดาเนินนโยบายการ พฒั นาอุตสาหกรรมทดแทนการนาเขา้ ต้งั แต่ปี พ.ศ. 2504 จนถงึ ปจั จบุ ัน จุดเร่ิมตน้ เกดิ ในชว่ งแผนพัฒนาเศรษฐกิจและสงั คมแห่งชาตฉิ บับท่ี 1 และ 2 ปี พ.ศ. 2504-2514 โรงงานอตุ สาหกรรมอเิ ลก็ ทรอนกิ ส์ทเี่ กดิ ขน้ึ ในช่วงน้สี ่วนใหญจ่ ะผลติ เคร่อื งใช้ไฟฟ้าและเครือ่ งอิเลก็ ทรอนิกส์ภายใน บา้ น เช่น เครือ่ งรบั วิทยุ เครื่องรับโทรทศั น์ ตู้เยน็ พัดลม เป็นตน้ โดยการนาชนิ้ สว่ นสาเรจ็ รูปมาประกอบ ในชว่ งแผนพฒั นาเศรษฐกิจและสงั คมแห่งชาติ ฉบับที่ 3 - 5 ปี พ.ศ. 2514- 2529 รฐั บาลมีนโยบาย ส่งเสริมอตุ สาหกรรมการผลิตเพื่อสง่ ออก และปจั จัยด้านคา่ แรงงานในประเทศไทยยังมรี าคาถูกจึงทาให้มีบรษิ ทั ตา่ งประเทศเขา้ มาลงทุนตั้งโรงงานผลติ สว่ นประกอบและชิ้นส่วนอเิ ลก็ ทรอนิกส์ ในผลิตภัณฑป์ ระเภทแผงวงจร ไฟฟา้ รวมและแผน่ วงจรพมิ พ์เป็นจานวนมาก ดังนน้ั ตง้ั แต่ปี พ.ศ. 2530 เรือ่ ยมา การลงทุนจากต่างประเทศขยายตัวเพิ่มสงู ข้ึนอย่างรวดเร็ว ประเทศ ไทยกลายเป็นฐานการผลติ ผลติ ภณั ฑ์เครื่องใช้ไฟฟ้าและอิเล็กทรอนิกส์ ทง้ั ทีเ่ พ่อื จาหน่ายในประเทศและเพื่อ สง่ ออก จนกระท่งั ในช่วงปี พ.ศ. 2540 เม่ือเกดิ วิกฤตเศรษฐกจิ ในเอเชยี อุตสาหกรรมในกลุ่มน้ีจงึ เริ่มชะลอตัวลง เน่ืองจากประเทศที่เปน็ ผู้ซื้อสินคา้ กลุ่มนีใ้ นต่างประเทศมีอุปทานทล่ี ดลงและเกดิ การแข่งขันในดา้ นราคาจาก ประเทศคู่แข่ง เชน่ สาธารณรฐั ประชาชนจนี และเวียดนาม เป็นต้น อตุ สาหกรรมอเิ ล็กทรอนิกสแ์ บ่งออกเป็น 4 ขนั้ ตอน ดังน้ี อตุ สาหกรรมขนั้ ตน้ คือ การผลติ เวเฟอร์ (wafer) อุตสาหกรรมขัน้ กลาง คือ การผลิตแผงวงจรไฟฟา้ รวม (IC) และแผ่นวงจรพิมพ์ (PCB) อตุ สาหกรรมขั้น ปลาย คอื การประกอบอุปกรณช์ ้ินส่วนอิเล็กทรอนิกส์ ลงบนแผน่ วงจรพิมพ์เปน็ แผน่ วงจรสาเร็จรปู (PCBA) และ นาไปประกอบและผลติ เป็นผลติ ภณั ฑใ์ นอตุ สาหกรรมต่อเนื่อง มรี ายละเอยี ดดังน้ี 1. อตุ สาหกรรมขั้นตน้ สนิ แร่ซลิ ิกอน (Silicon) บรสิ ทุ ธกิ์ ว่า 99.99% จากอุตสาหกรรมการถลงุ และแต่งแร่ จะถูกนามาเป็น วตั ถดุ บิ ในการผลิตแผน่ เวเฟอร์ ซง่ึ เป็นอุตสาหกรรมขั้นต้นของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนกิ สด์ งั กลา่ ว (รปู ท่ี 1-4) เริม่ ตน้ ดว้ ยการนามาหลอมและทาให้เกดิ ผลึกในเตาหลอม (Crystal pulling furnace) จากนน้ั นาแท่งผลึกซลิ กิ อน ท่ไี ดม้ าเจียระไนตกแตง่ (Rod grinding) จนได้แท่งซิลิกอน (Ingot) ตามขนาดทีต่ ้องการ แล้วจึงนาแทง่ ซิลิกอนมา ตัดแผน่ (Wire cutting) แต่งขอบ (Edge profiling) จดั วางเรียงซอ้ น (Lapping) เปน็ ช้ัน ๆ นามาขดั เงา

2 (Polishing) แลว้ ไปทดสอบ ตรวจสอบโดยแสงเลเซอร์ (Laser inspection) นามาเจือสาร (Epitaxy) แลว้ จงึ นาไป สรา้ งลายวงจรด้วยแสง (Photolithography) ซงึ่ เปน็ กระบวนการทซ่ี บั ซ้อนจนได้ผลผลติ เปน็ แผน่ เวเฟอร์ (Wafer) ซ่ึงเปน็ ผลิตภณั ฑ์ขน้ั ตน้ เพ่ือเข้าสกู่ ระบวนการในอุตสาหกรรมขน้ั กลางต่อไป • อุตสาหกรรมอิเลก็ ทรอนิกส์ 2. อตุ สาหกรรมข้ันกลาง คือ กระบวนการผลิตแผงวงจรไฟฟา้ รวมและการผลิตแผ่นวงจรพมิ พ์มีรายละเอียด ดังน้ี 2.1 การผลติ แผงวงจรไฟฟ้ารวม (IC) หลังจากผ่านข้ันตอนต่างๆในอุตสาหกรรมข้นั ต้นแล้ว กจ็ ะมาถึงกระบวนการตัดแผ่นเวเฟอร์ดว้ ย แสงเลเซอรเ์ พือ่ แบ่งแยกเปน็ ตัวได(Die) แต่ละไดจะถกู นาไปติดเขา้ กบั แผน่ เฟรมดว้ ยกาวชนดิ พิเศษ จากนน้ั กจ็ ะต่อขาเพื่อใช้ในการเชอ่ื มต่อกบั อุปกรณ์ต่างๆต่อไปเมื่อจัดการต่อขาเสร็จกจ็ ะห่อหมุ้ เฟรมให้ มดิ ชิดด้วยการฉีดพลาสติกสังเคราะห์พมิ พร์ หัสเบอร์ลงบนตัวแผงวงจรไฟฟ้ารวม(IC)แลว้ เตรยี มเข้าสู่ กระบวนการทดสอบการใช้งานของวงจรไฟฟ้า นั้น ๆ ต่อไป

3 การผลติ แผงวงจรไฟฟา้ รวม 2.2 การผลิตแผน่ วงจรพิมพ์ (PCB) เปน็ การนาแผ่นฉนวนทม่ี ีเสน้ ลายทองแดงฉาบอยูด่ า้ นหนง่ึ ซึง่ ใช้เปน็ ทสี่ าหรับใหต้ วั อปุ กรณ์ ตา่ งๆ ยึดเกาะ และเช่ือมโยงถึงกนั ทางไฟฟา้ โดยตัวอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกสต์ ่าง ๆ ท่อี อกแบบไว้ จะถูก นาไปติดตัง้ อยูบ่ นแผน่ วงจรพิมพ์ (ด้านตรงข้ามกบั ลายทองแดง) และจะเชื่อมขาของอุปกรณ์ต่างๆ กบั ลายทองแดงนี้ การผลิตแผน่ วงจรพิมพ์ 3. อุตสาหกรรมขนั้ ปลาย เป็นการนาเอาแผ่นวงจรพมิ พ์ (PCB) และชิ้นส่วนอิเล็กทรอนกิ ส์ เชน่ แผงวงจรไฟฟา้ รวม (IC) ทรานซิสเตอร(์ Transistor) คาปาซเิ ตอร์ (Capacitor) ไดโอด (Diode) ความต้านทาน (Resistor) และ อปุ กรณ์อิเล็กทรอนิกส์อืน่ ๆ มาประกอบรวมกันตามตาแหน่งท่ไี ด้กาหนด ให้ไดแ้ ผ่นวงจรสาเร็จรปู (Printed circuit board assembly : PCBA) ตามประเภทการใช้งาน เชน่ เปน็ อปุ กรณ์คอมพวิ เตอร์ เป็นอปุ กรณโ์ ทรคมนาคม เป็นอปุ กรณ์เคร่ืองใชไ้ ฟฟ้า เป็นต้น

4 การผลิตแผน่ วงจรสาเรจ็ รูป 4. อตุ สาหกรรมตอ่ เน่อื ง เป็นการนาแผ่นวงจรสาเร็จรูป (PCBA) มาเป็นสว่ นประกอบสาคญั ในการผลติ เครอ่ื งคอมพิวเตอร์ เครอ่ื งสื่อสารโทรคมนาคม โทรศัพท์ ดาวเทยี ม อปุ กรณ์ไฟฟา้ ต่าง ๆ เช่น ตูเ้ ยน็ วทิ ยุ โทรทัศน์ เตาอบ ไมโครเวฟ เคร่ืองเสียง อุปกรณ์ควบคมุ ในรถยนต์ เคร่ืองบิน เป็นตน้ อุตสาหกรรมต่อเนื่อง

5 วเิ คราะหอ์ นั ตรายจากกระบวนการผลติ ที่เก่ียวกับอตุ สาหกรรมอิเลก็ ทรอนกิ ส์ กระบวนการผลิตแผน่ เวเฟอร์ ขั้นตอนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ 1. การนาแร่มาหลอมและทาให้เกิดผลึกในเตาหลอม (Crystal pulling furnace) 2. แท่งผลกึ ซิลิกอนที่ได้มาเจยี ระไนตกแตง่ (Rod grinding) จนไดแ้ ทง่ ซลิ ิกอน (Ingot) ตามขนาดที่ต้องการ 3. นาแท่งซลิ กิ อนมาตดั แผ่น (Wire cutting) 4. การแตง่ ขอบ (Edge profiling) จัดวางเรยี งซ้อน (Lapping) เปน็ ชน้ั ๆ 6. นามาขัดเงา (Polishing) 7. ทดสอบ ตรวจสอบโดยแสงเลเซอร์ (Laser inspection) 8. นามาเจือสาร (Epitaxy) 9. นาไปทาความสะอาดและบรรจุ

6 แผนผงั กระบวนการผลิตแผน่ เวเฟอร์

7 วิเคราะหแ์ ละช้บี ่งอนั ตรายและการประเมนิ ความเสีย่ งด้วยวธิ ี What if Analysis 1. จะเกดิ อะไรขน้ึ ถ้าพนกั งานสัมผัสกบั ความรอ้ นจากการหลอมละลาย 2. จะเกดิ อะไรขึ้น ถา้ พนักงานตอ้ งก้มกดสวติ ชท์ ่ีอยู่ตา่ กวา่ ตวั ผู้ปฏบิ ัตงิ านบ่อยครงั้ 3. จะเกิดอะไรขึน้ ถ้าเศษเหล็กจากกระบวนการเจยี ระไนเกิดการกระเด็นใสพนักงาน 4. จะเกดิ อะไรข้นึ ถ้าแท่งซลิ ิกอนหลน่ ทับเทา้ พนักงาน 5. จะเกดิ อะไรขน้ึ ถา้ มือถกู หนีบจากเคร่ืองตดั แผ่น 6. จะเกิดอะไรขนึ้ ถา้ พนกั งานยืนทางานในท่าเดมิ ๆ เปน็ เวลานาน 7. จะเกิดอะไรข้นึ ถา้ โดนบาดจากการตดั แผ่นซลิ กิ อน 8. จะเกิดอะไรขนึ้ ถ้ามือโดนเครื่องตกแต่งขอบ 9. จะเกิดอะไรขึน้ ถา้ โดนทบั จากเครื่องจกั รขณะเรยี งซ้อน 10. จะเกิดอะไรข้นึ ถ้าแสงสว่างในการทางานน้อยเกินไป 11. จะเกิดอะไรขน้ึ ถ้าพนักงานวางของปิดกน้ั ทางเดิน 12. จะเกดิ อะไรขึ้น ถ้าพนักงานทางานในท่าทางท่ีไมเ่ หมาะสม 13. จะเกดิ อะไรขึ้น ถ้าพนักงานโดนบาดจากการขัดเงา 14. จะเกิดอะไรขนึ้ ถ้าพนักงานโดนรังสมี ากเกนิ ไป 15. จะเกดิ อะไรขึ้น ถ้าพนักสูดดมสารเคมีเปน็ เวลานานๆ 16. จะเกิดอะไรขึน้ ถ้าพนักงานจอ้ งแสงจากการสร้างลายเป็นเวลานานๆ 17. จะเกดิ อะไรขึ้น ถ้าพนักงานสมั ผัสกับเสียงท่ดี ังเกินมาตรฐาน 18. จะเกดิ อะไรข้นึ ถ้าไฟเกดิ การขดั ข้องหรือดับ

8 ผลการศึกษา วเิ คราะห์ และทบทวนการดาเนนิ งานในโรงงานเพ่ือการชบ้ี ่งอันตรายดว้ ยวิธี What if Analysis พ้นื ท/่ี เคร่อื งจกั ร/กระบวนการผลติ /ขน้ั ตอนการปฏบิ ัติ/กิจกรรม การผลิตแผ่นเวเฟอร์ โรงงาน กรมโรงงานอตุ สาหกรรม ตามแบบเอกสารหมายเลข วันทที่ าการศึกษา 27 กมุ ภาพนั ธ์ 2564 คาถาม What if อนั ตรายหรอื ผล มาตรการป้องกนั ข้อเสนอแนะ การประเมนิ ความเส่ียง (จะเกิดอะไรข้นึ ถา้ ...) ท่ีจะเกดิ ขึ้นตามมา และควบคุมอันตราย - โอกาส ความ ผลลัพธ์ ระดบั 1.พนกั งานสมั ผัสความ - ได้รับบาดเจ็บ - ใสถ่ ุงมือป้องกันความ รุนแรง ความ ร้อนจากการหลอม - เกิดแผลผุผอง ร้อน เสย่ี ง ละลาย - จดั ใหม้ กี ารด์ ป้องกนั ท่ี ตัวเครอ่ื ง 31 32 2. พนักงานต้องก้มกด - เกิดการปวดเมื่อย - ควรติดต้งั สวิตช์ในระดบั -อบรมพนักงาน 3 1 3 2 สวิตช์ทีอ่ ย่ตู ่ากวา่ ตวั กลา้ มเนือ้ เคล็ดขดั ยอก ทเ่ี หมาะสม ในการทางาน ผู้ปฏบิ ัตงิ านบ่อยครั้ง - ควรมอี ปุ กรณ์ทชี่ ว่ ยใน ดา้ นการยศาสตร์ การกดสวติ ช์แทนการใช้ ทเ่ี หมาะสม คนกด 3. เศษเหลก็ จาก - อาจเกิดอนั ตรายต่อ - จัดใหม้ ีการด์ ครอบแบบ จัดให้มีการอบรม 2 2 4 2 กระบวนการเจียระไน ดวงตาหรอื รา่ งกายของ ใสทีต่ วั เครื่องเจยี ร์ พนักงานในการ เกิดการกระเดน็ ใส พนกั งาน - ให้พนกั งานสวมแวน่ ตา ใชเ้ ครื่องเจยี ร์ พนักงาน - สูญเสียการมองเห็น นริ ภัยขณะปฏิบัตงิ าน อย่างถูกวธิ ี หรอื ได้รบั บาดเจ็บ 4. แทง่ ซลิ กิ อนหลน่ -มอื พนักงานอาจไดร้ บั - ใส่รองเท้านิรภัย - 13 32 ทบั เท้าพนกั งาน บาดเจบ็ ท่ีเท้า - วางแทง่ ซิลกิ ินในทีท่ ไ่ี ม่สูง มากไป

9 คาถาม What if อันตรายหรือผล มาตรการป้องกนั ข้อเสนอแนะ การประเมินความเส่ียง (จะเกดิ อะไรขึน้ ถ้า...) ทจ่ี ะเกดิ ข้ึนตามมา และควบคมุ อนั ตราย - โอกาส ความ ผลลัพธ์ ระดบั 5. มือถกู หนบี จาก - มือไดร้ บั บาดเจ็บจาก - สวมใสอ่ ปุ กรณ์อันตราย รนุ แรง ความ เครื่องตดั แผน่ การถกู หนบี หรือขาดได้ สว่ นบุคคล (ถงุ มือ เสย่ี ง 31 32 6. พนกั งานยืนทางาน -เกิดอาการปวดเม่ือย - มกี ารสับเปล่ยี นกะให้กบั -จดั ใหม้ ีการ 41 42 ในทา่ เดิมเปน็ เวลานาน กลา้ มเนอื้ บรเิ วณต้นขา พนักงาน อบรมทางดา้ น - จัดให้มีเก้าอี้ใหแ้ ก่ การยศาสตร์ที่ พนกั งานขณะพักหรอื เหมาะสมให้แก่ ระหว่างปฏบิ ัตงิ าน พนักงาน 7. โดนบาดจากการตัด - มอื ไดร้ ับบาดเจบ็ หรอื - สวมใส่ถุงมือขณะทางาน - 31 32 แผ่นซิลิกอน ขาด เสมอ - วางมือไวใ้ นระยะที่ เหมาะสมไมเ่ ข้าใกล้เคร่ือง ตัดมากเกนิ ไป 8. มือโดนเครอื่ ง - มอื ได้รบั บาดเจบ็ - สวมใสถ่ ุงมอื ขณะทางาน - 23 62 ตกแตง่ ขอบ เสมอ - วางมือไว้ในระยะท่ี เหมาะสมไม่เข้าใกลเ้ คร่อื ง ตัดมากเกินไป 9. โดนทบั จาก - มือไดร้ บั บาดเจ็บ - วางมอื ไว้ในระยะที่ - 32 62 เคร่อื งจักรขณะเรียง - ปวดข้อมอื เหมาะสมไมเ่ ขา้ ใกล้เครือ่ ง ซอ้ นแผน่ เวเฟอร์ ตดั มากเกินไป

10 คาถาม What if อนั ตรายหรือผล มาตรการป้องกนั ข้อเสนอแนะ การประเมินความเสี่ยง (จะเกิดอะไรขึน้ ถา้ ...) ทจ่ี ะเกิดข้นึ ตามมา และควบคมุ อนั ตราย - โอกาส ความ ผลลัพธ์ ระดบั 10. แสงสว่างในการ - อาจทาให้กลา้ มเน้อื -เปดิ แสงสว่างท่เี พียงพอ รุนแรง ความ ทางานนอ้ ยเกินไป ตาเกิดการอ่อนลา้ และเหมาะสมขณะ เสย่ี ง - หยิบจับของไมต่ รง ปฏบิ ัติงาน ตามทตี่ ้องการ 21 21 เนื่องจากมองเห็นไม่ ชัดเจน 11. วางของปดิ กั้น - พนักงานอาจสะดดุ - จดั วางสงิ่ ของใหเ้ ปน็ - 31 32 ทางเดิน ล้ม ระเบยี บ 12. พนกั งานทางานใน - เกดิ การปวดเมื่อย -มกี ารสับเปลย่ี นพนักงาน จดั อบรมแก่ 41 42 ท่าทางที่ไม่เหมาะสม กล้ามเน้ือ เคล็ดขัดยอก หรือเปลีย่ นกะให้กับ พนักงานในการ พนักงาน ทางานด้วย ทา่ ทางที่ เหมาะสม 13. พนกั งานโดนบาด - พนักงานไดร้ บั -ใส่ถุงมอื ขณะทางาน - 22 42 จากการขัดเงา บาดเจ็บ 14. พนกั งานโดนรังสี - อาจทาใหเ้ กิด - สวมใสช่ ดุ ป้องกนั รงั สี - 32 62 มากเกนิ ไป โรคมะเร็งได้ - ทาห้องแยกปอ้ งกันรังสี - เกิดการเปลย่ี นแปลง ขณะปฏิบตั ิงาน ของยนี ท่ผี ดิ ปกติ

11 คาถาม What if อันตรายหรอื ผล มาตรการป้องกนั ขอ้ เสนอแนะ การประเมนิ ความเสี่ยง (จะเกิดอะไรข้ึน ถ้า...) ทจ่ี ะเกิดขึน้ ตามมา และควบคมุ อนั ตราย - โอกาส ความ ผลลพั ธ์ ระดบั 15. พนกั งานสดู ดม - เป็นโรคเก่ียวกับ - ใสห่ นา้ กากนริ ภัย รุนแรง ความ สารเคมีเปน็ เวลานานๆ ระบบทางเดินหายใจ - ไมท่ างานในขั้นนเี้ ป็น เสย่ี ง เวลานานเกนิ ไป - เกิดอันตรายกับ 23 62 รา่ งกาย 16. พนักงานจ้องแสง - อาจทาใหก้ ล้ามเน้ือ - ใหม้ กี ารสบั เปล่ียน - 23 62 จากการสร้างลายเป็น ตาเกดิ การอ่อนลา้ พนกั งาน เวลานานๆ - สายตาอาจมองไมเ่ หน็ - ใสแ่ วน่ ตานิรภัย ชั่วขณะ 17. ถ้าไฟเกิดการ - เครอ่ื งจักรหยดุ ทางาน -มกี ารตดิ ตงั้ ไฟฟา้ สารองไว้ - 32 62 ขัดข้องหรอื ดบั - พนักงานมองไม่เหน็ กรณีไฟฟ้าเกดิ ขัดข้องหรือ ขณะปฏิบัติงาน อาจ ดบั เกดิ อนั ตรายได้ 18. พนกั งานสมั ผสั กบั -หูหนวก หรอื สูญเสีย - สวมใส่อุปกรณป์ ้องกัน - 32 62 อนั ตรายส่วนบุคคล (ท่ีอดุ เสียงท่ดี งั เกนิ การได้ยิน หู) - ใสท่ ี่ดดู ซับเสยี งบรเิ วณ มาตราฐาน เคร่ืองจักรทที่ างานแลว้ มี เสยี งดัง

12 วเิ คราะหช์ ้ีบง่ อนั ตรายและการประเมินความเส่ียงดว้ ย FMEA จากกระบวนการผลติ แผ่นเวเฟอร์ ขั้นตอนการผลิต 1. การนาแรม่ าหลอมและทาใหเ้ กดิ ผลกึ ในเตาหลอม (Crystal pulling furnace) ➢ เครอื่ งหลอมละลายแร่ 2. นาแท่งผลกึ ซลิ กิ อนที่ไดม้ าเจียระไนตกแต่ง (Rod grinding) จนได้แทง่ ซลิ ิกอน (Ingot) ตามขนาดท่ี ต้องการ ➢ เครือ่ งเจยี ร 3. นาแท่งซิลกิ อนมาตัดแผ่น (Wire cutting) ➢ เครอื่ งตดั แผ่นโลหะ 4. การแต่งขอบ (Edge profiling) ➢ เครอ่ื งเจยี รขอบ 5. จดั วางเรยี งซอ้ น (Lapping) เป็นชนั้ ๆ 6. นามาขัดเงา (Polishing) ➢ เครอ่ื งขดั เงา 7. ทดสอบ ตรวจสอบโดยแสงเลเซอร์ (Laser inspection) 8. นามาเจอื สาร (Epitaxy) 9. นาไปทาความสะอาดและบรรจุ

13 เครื่องจกั ร หรืออุปกรณ์ที่ใชใ้ นการวเิ คราะหก์ ระบวนการผลิตแผน่ เวเฟอร์ เคร่อื งหลอมละลายแร่ เครอื่ งเจียร เคร่ืองตดั แผ่นโลหะ เครือ่ งเจยี รขอบ เครือ่ งขัดเงา

14 ผลการศึกษา วิเคราะห์ และทบทวนการดาเนินงานในโรงงานเพือ่ การชบี้ ่งอันตรายดว้ ยวิธี FMEA พ้นื ท่ี/เครอ่ื งจักร/กระบวนการผลติ /ขนั้ ตอนการปฏิบัต/ิ กจิ กรรม การผลิตแผน่ เวเฟอร์ โรงงาน กรมโรงงานอตุ สาหกรรม ตามแบบเอกสารหมายเลข วนั ทท่ี าการศึกษา 27 กุมภาพันธ์ 2564 เครือ่ งจักร สาเหตขุ องความ ผลที่จะเกดิ ขึน้ มาตรการ การประเมนิ ความเส่ียง อปุ กรณ์/ ความลม้ เหลว ล้มเหลว ป้องกนั /ควบคมุ โอกาส ความ ผล ระดับ ระบบ พังทะล่มใส่พนกั งาน - ไมม่ ีการบารุงรกั ษา ทาให้เกิดการ แก้ไข รนุ แรง ลัพธ์ ความ เครือ่ งหลอมละลายแร่ - เกิดสนิม/ผกุ ร่อน บาดเจ็บหรอื เสียชวี ิต เส่ียง มกี ารตรวจสอบ โครงเหลก็ - ชารดุ อยา่ งสมา่ เสมอ / 2 3 62 - เสยี หาย บารงุ รักษาเมอื่ - พังทลาย ชารดุ สายพาน - ขาด - ขาดการบารุงรักษา - สายอาจดีดใส่ตวั มีการตดิ ต้ัง 2 3 62 - ชารุด - เสอ่ื มตามอายุการ พนักงาน Machine guard 2 1 21 - เสียหาย ใชง้ าน - กระบวนการผลิต ท่ีตวั สายพาน หยดุ ทางาน ท่อ - ชารุด -ขาดการบารงุ รักษา เปลวเหลวที่มคี วาม - มกี ารตรวจสอบ - แตก/รั่ว รอ้ นสงู กระเด็นโดน อยา่ งสมา่ เสมอ ตัวผู้ปฏิบัติงาน - บารงุ รกั ษาเมื่อ พบการชารดุ ฟันเฟือง - ชารดุ - ขาดการบารุงรักษา ฟันเฟืองอาจแตกใส่ - ตรวจสอบทกุ 2 3 6 2 - เครอ่ื งไม่เดิน - เกิดสนิม/ผกุ รอ่ น พนกั งาน ครั้งก่อนใชง้ าน - ทางานติดขัด - นา้ มนั หลอ่ ลนื่ แหง้ เกิดเสยี งดัง งาน - มีการบารงุ ล่าช้า รกั ษาอย่างเสมอ

15 เคร่อื งจกั ร ความล้มเหลว สาเหตขุ องความ ผลท่ีจะเกดิ ข้นึ มาตรการ การประเมินความเส่ียง อุปกรณ/์ ลม้ เหลว ปอ้ งกนั /ควบคุม ระบบ โอกาส ความ ผล ระดับ แก้ไข รนุ แรง ลพั ธ์ ความ เส่ียง เครือ่ งเจียร - ชารดุ - ขาดการบารุงรักษา - เกดิ ไฟฟา้ ลดั วงจร กาหนดแผนการ 3 2 42 สายไฟ - ขาด - เสียหาย - เสอื่ มตามอายุการ - ไฟชอ็ ต เปน็ ตรวจสอบการ ใช้งาน อนั ตรายต่อพนักงาน รั่วไหลของไฟฟา้ มอเตอร์ -เกิดประกายไฟ - ขาดการบารุงรักษา - ไฟอาจไหม้มือหรือ - มกี ารตรวจเช็ค 2 3 6 2 - มีกลนิ่ ไหม้ - เสื่อมตามอายกุ าร อวัยวะของพนักงาน ประจาเดือน - เกิดการระเบิด ใช้งาน - กระบวนการผลิต - บารงุ รกั ษาเม่ือ หยุดการทางาน พบการชารดุ ใบเจียร แตก/หลดุ ออก - ไม่มีการตรวจสอบ - ตดั มอื พนักงาน - มกี ารตรวจสอบ 2 4 8 3 กอ่ นการใช้งาน - เศษใบเจยี รกระเดน็ กอ่ นการใชง้ าน - ขาดการดูแลรักษา โดนตัวพนักงาน - มกี ารเปล่ยี น เมื่อชารดุ - เกิดการบาดเจ็บต่อ แผ่นใบเจียร เมอื่ ตวั ผปู้ ฏิบัติงาน พบการชารดุ ดา้ มจบั ตวั ยึดไมแ่ นน่ ขาดการตรวจสอบ - เสียการควบคุมเมื่อ - ตรวจสอบทุก 2 4 6 2 ก่อนใช้งาน มกี ารปฏิบัติงาน ครง้ั ก่อนการใช้ - หล่นใส่เท้าพนกั งาน งาน และอาจได้รบั - บารงุ รักษาอย่าง บาดเจบ็ เสมอ

16 เคร่ืองจักร ความล้มเหลว สาเหตุของความ ผลที่จะเกดิ ขึน้ มาตรการ การประเมนิ ความเสี่ยง อุปกรณ์/ ล้มเหลว ปอ้ งกนั /ควบคุม ระบบ ใบมีดอาจกระเด็น โอกาส ความ ผล ระดับ โดนตัวพนกั งาน ทา แกไ้ ข รนุ แรง ลัพธ์ ความ ใหพ้ นักงานไดร้ บั เส่ียง บาดเจบ็ เครื่องตดั แผน่ โลหะ -กาหนดแผนการ 2 2 4 2 ใบมดี ทใ่ี ช้ตดั - ชารดุ /แตกหกั - เสือ่ มตามอายกุ าร ตรวจสอบ ตกแต่งขอบ - ใช้งานไม่ได้ ใช้งาน คณุ ภาพของ ใบมดี - ขาดการดูแลหรือ -ตดิ ตัง้ machine บารุงรกั ษา guard ครอบ บรเิ วณใบมีด เครื่องจักร - ใช้งานไมไ่ ด้ - เสือ่ มตามอายุ -พนักงานถูกดึงเขา้ ไป - มีการตรวจสอบ 2 4 8 3 - เครอื่ งเกดิ การ การใชง้ าน ในเครือ่ งจักร คณุ ภาพของ ขดั ข้อง -ขาดการ - กระบวนการผลิต เคร่ืองจักร บารงุ รกั ษา ตอ้ งหยดุ ชะงัก - ตดิ ตง้ั guard ครอบทเ่ี คร่ืองจกั ร - บารงุ รักษาอย่าง เสมอ ท่อปล่อยน้า - ชารดุ - เสอ่ื มสภาพตาม - เกิดการระคายเคือง - มีการ 2 4 83 - แตกหัก อายกุ ารใช้งาน ตา เมอ่ื น้ากระเด็น บารงุ รักษาเชงิ - มีการรวั่ ไหล - ขาดการบารงุ รักษา เข้าตาพนักงาน ปอ้ งกนั เกย่ี วกบั - ไมม่ ีการเปล่ยี นเม่ือ - เกดิ การรั่วไหลของ ทอ่ นา้ พบการชารดุ นา้ ซึง่ อาจกระทบกับ - ตรวจสอบสภาพ กระบวนการผลติ ที่ การใชง้ านของท่อ เก่ยี วขอ้ งอนื่ ๆ นา้ ทกุ ครั้งก่อน การใช้งาน

17 เครื่องจกั ร ความลม้ เหลว สาเหตุของความ ผลท่ีจะเกิดข้นึ มาตรการ การประเมินความเสี่ยง อปุ กรณ/์ ลม้ เหลว ปอ้ งกัน/ควบคมุ ระบบ โอกาส ความ ผล ระดับ แกไ้ ข รุนแรง ลัพธ์ ความ เส่ียง สายพานส่ง - ชารุด - เกิดสนิม/ผุกรอ่ น - ดึงมอื ของพนกั งาน - ตดิ ตง้ั guard 2 4 8 3 แผ่นโลหะ - เครื่องไม่เดิน - เสอ่ื มสภาพตาม เกิดการบาดเจบ็ ครอบสายพาน - ทางานตดิ ขดั อายุการใชง้ าน สญู เสียอวัยวะ - มกี ารตรวจสอบ - ขาดการบารงุ รักษา - กระบวนกรผลิต สายพาน เมือ่ พบ ต้องหยุดการทางาน การชารุด เครอ่ื งเจียรขอบ ที่ขัดโลหะ - ชารุด/แตกหกั - เสอ่ื มสภาพตาม ทข่ี ดั เม่ือชารุด เกดิ - เปลีย่ นท่ขี ัดใหม่ 2 2 4 2 - ใช้งานไมไ่ ด้ อายุการใช้งาน ผดิ พลาดโดนมือ เม่อื พบการชารุด - ขาดการบารงุ รักษา พนักงาน เกดิ การ - ตรวจเช็ค บาดเจบ็ คุณภาพทีข่ ัด โลหะก่อนทาการ ปฏบิ ัติงาน เคร่อื งขัด - เกิดการ - เส่ือมสภาพตาม อาจดึงมือหรอื อวัยวะ -มีการตรวจสอบ 2 4 8 3 โลหะ ขดั ข้อง อายุการใช้งาน ของพนักงานเม่ือทา คณุ ภาพของ - เครื่องไม่เดิน - ขาดการดูแลรักษา การปฏิบตั งิ าน เครือ่ งขดั โลหะ ใชง้ านไม่ได้ เมอื่ ชารดุ ทกุ ๆ 6 เดือน - ทาการติดตงั้ machine guard ครอบบริเวณ เครอื่ งขัดโลหะ

18 เครอ่ื งจกั ร ความลม้ เหลว สาเหตขุ องความ ผลที่จะเกดิ ขน้ึ มาตรการ การประเมินความเสี่ยง อุปกรณ์/ ล้มเหลว ปอ้ งกนั /ควบคมุ ระบบ โอกาส ความ ผล ระดับ แก้ไข รนุ แรง ลัพธ์ ความ เส่ียง ทอ่ ปล่อยน้า - เกดิ การชารุด - เสื่อมสภาพตาม - เกดิ การระคายเคือง - มีการ 2 4 83 - แตกหกั อายุการใช้งาน ตา เม่ือน้ากระเดน็ บารุงรักษาเชงิ - พบการรว่ั ไหล - ขาดการดแู ล เขา้ ตาพนักงาน ปอ้ งกันเกี่ยวกับ บารงุ รักษา - เกิดการร่วั ไหลของ ทอ่ นา้ นา้ ซงึ่ อาจกระทบกบั - ตรวจสอบสภาพ กระบวนการผลิตที่ การใช้งานของท่อ เก่ยี วขอ้ งอนื่ ๆ น้าทุกคร้ังก่อน การใชง้ าน 4. Lapping - ชารดุ - เส่อื มสภาพตาม แผน่ โลหะอาจหล่น - ตรวจสอบ 2 4 83 - พัง/เสียหาย อายุการใช้งาน จาก Lapping ตกใส่ Lapping ทุกคร้ัง - ขาดการดแู ล มือหรือตวั พนกั งาน ก่อนใช้งาน บารุงรักษา จนได้รบั บาดเจ็บ - บารงุ รกั ษาเมื่อ พบการชารุด เครอื่ งขัดเงา แผน่ ขัด - ชารุด - เป็นสนมิ บาดมือพนักงานจน ทาการตดิ ต้ัง 2 2 42 ตกแต่ง - ใช้งานไมไ่ ด้ เกิดการผกุ ร่อน อาจได้รบั บาดเจบ็ machine guard โลหะ - เสอ่ื มสภาพตามการ ครอบบรเิ วณ ใช้งาน แผ่นขดั โลหะ - ขาดการบารุงรักษา

19 เครอื่ งจกั ร ความล้มเหลว สาเหตุของความ ผลท่จี ะเกดิ ขน้ึ มาตรการ การประเมนิ ความเส่ียง อุปกรณ/์ ล้มเหลว ป้องกัน/ควบคมุ ระบบ - ชารุด โอกาส ความ ผล ระดับ - ฉายแสง - ขาดการดแู ลรกั ษา แกไ้ ข รุนแรง ลพั ธ์ ความ เครอ่ื งฉาย ปรมิ าณมาก - ไม่มีการตรวจเชค็ เส่ียง แสงแผ่น เกินกวา่ ท่ีควร ความผิดปกติ ขณะ โลหะ ปฏบิ ัติงาน - เกิดการปวดตาหรือ - มีการตรวจเชค็ 2 4 8 3 กลา้ มเนอื้ ตา เมื่อมี เครอ่ื งฉายแสง การสมั ผัสแสงทถ่ี ูก แผน่ โลหะอยา่ ง ฉายออกมามากเกนิ สมา่ เสมอ กาหนด - ควบคุมอตั รา - เกิดโรคทางระบบ แสงทถ่ี ูกฉายขณะ สายตา ปฏบิ ตั งิ าน - ใหพ้ นักงานสวม ใสแ่ วน่ ตานิรภัย ขณะปฏบิ ตั ิงาน เครอ่ื งบรรจุ - หยุดทางาน - ขาดการบารุงรักษา - ดึงมือหรือหนีบมือ - ทาการติดตั้ง 2 4 8 3 แผน่ โลหะ - ชารุด/เสียหาย - เสื่อมสภาพตามการ ของพนักงาน จนเกดิ machine guard ใช้งาน การบาดเจบ็ ครอบตวั เครื่อง - กระบวนการผลิต บรรจแุ ผ่นโลหะ หยดุ ทางาน -ตรวจสอบ คณุ ภาพเครอ่ื ง บรรจุแผน่ โลหะ ทกุ ครัง้ กอ่ นทา การใช้งาน

20 เครอื่ งจกั ร ความล้มเหลว สาเหตขุ องความ ผลท่จี ะเกดิ ขน้ึ มาตรการ การประเมนิ ความเส่ียง อุปกรณ/์ ลม้ เหลว ป้องกัน/ควบคมุ ระบบ โอกาส ความ ผล ระดบั แกไ้ ข รุนแรง ลพั ธ์ ความ เสีย่ ง เครื่องลา้ ง - ชารดุ - เสอ่ื มสภาพตาม - แผ่นโลหะอาจหลน่ มีการตรวจสอบ 2 4 8 3 แผน่ โลหะ - เกิดการ อายกุ ารใชง้ าน ขัดข้อง - ขาดการดแู ลหรือ จาก เครอ่ื งล้างแผน่ คุณภาพ เคร่ือง - เครอื่ งไม่เดิน บารุงรักษา โลหะตกใสม่ ือหรือตัว ลา้ งแผ่นโลหะ พนกั งานจนไดร้ บั ทุกคร้ังกอ่ นทา บาดเจบ็ การใช้งาน - เกิดไฟฟา้ ชอ็ ตขณะ ทาการลา้ งแผ่นโลหะ

21 บรรณานุกรม กระบวนการผลิต PCB. (2561). [ออนไลน]์ . เขา้ ถึงไดจ้ าก : http://th.terrenebuyingservice.com/ . (วันทค่ี ้นข้อมลู : 26 กุมภาพันธ์ 2564) ค่มู อื การกับดูแลโรงงานอุตสาหกรรมอเิ ลก็ ทรอนกิ ส์ (IC และ PCB). (2550). [ออนไลน์]. เขา้ ถึงได้จาก : http://www.industry.go.th/. (วนั ที่ค้นขอ้ มลู : 26 กมุ ภาพันธ์ 2564) อตุ สาหกรรมอเิ ล็กทรอนกิ ส์ (IC และ PCB). (2551). [ออนไลน์]. เข้าถงึ ได้จาก : http://www2.diw.go.th/. (วันท่ีคน้ ขอ้ มูล : 26 กุมภาพันธ์ 2564)